尼康作為科技巨頭,想的辦法也很簡單,直接換用157納米的2激光,這樣就能解決問題了。
而為了對抗尼康成立的euv llc聯盟則押注更激進的極紫外技術,將光源切換成十幾納米的極紫外光,這樣不僅僅能解決現有的問題,還能一直用到以後,刻十納米以下的芯片製程都沒問題。
但是,這兩種技術都不容易,都麵臨著技術難關,這就是九十年代最出名的193納米關卡!
凡是遇到難關的時候,總是有天才出現的,現在也不例外,一個名叫林本堅的鬼才工程師出現了。
當光線透過水之後,頻率不變,但是波長會發生變化,這就是水的折射率,所以,隻要在光刻機的光源和矽片之間加一層水,讓原本的193納米的激光發生一次折射,不就能大大地降低了嗎?
簡單計算就能知道,波長會降低到132納米!
這樣,不僅僅能降低了光刻機的波長,刻蝕更加精密的電路,而且,對機器的改動還最小!
以前的就叫做乾刻法,現在可以叫做濕刻法了!
林本堅提出來了這項技術,興致勃勃地跑出去推銷,但是,全部都吃了閉門羹!
美國、德國、日本,一個個的光刻機巨頭,麵對著這個說法都是嗤之以鼻:在精密的機器中加入水,成為一個浸潤環境,就不怕水漏了嗎?短期來看,這個辦法可能會成功,但是長期來看,根本就是在走彎路!
尤其是巨頭尼康,決定在157納米的光源上研究,根本就不搭理林本堅這種歪門邪道。
就像是數碼相機一樣,當年柯達首先研製出來數碼相機,但是害怕因此威脅到膠片的生意,所以他們采用的辦法就是將數碼相機藏起來,不讓彆人知道!
尼康在157納米的道路上走到黑,而此時名不經傳的阿斯麥卻注意到了這個彎道超車的機會,對他們來說,這是一個迅速追趕世界先進水平的機會!
所以,他們接受了林本堅的技術,研發起來了浸潤式光刻機,不過,這已經是03年的事情了,僅僅一年的時間,也就是04年,他們就製造出來了樣機,然後迅速拿下了ibm和台積電等等大客戶的訂單。
尼康僅僅晚了不到一年的時間,把自己的是157納米激光的乾式光刻機技術弄成功了,但是,客戶卻不要了!一代巨頭尼康就這樣衰落了,而阿斯麥從此成為了光刻機行業的老大。
這段曆史,對於秦濤這個造船工程師,也是有所耳聞的,所以現在,他如果想要彎道超車的話,那當然就是選擇對技術路線了!
隻有三十多人的阿斯麥都能做到,擁有雄厚財力的明州集團,難道還做不到這種事情嗎?
什麼技術封鎖,狗屁!到以後,明州集團的光刻機會成為阿斯麥一樣的存在,全世界的巨頭都得上趕著過來求購!
第二天。
清華大學,精密儀器係會議室。
“秦總,我們就知道,你們明州集團既然已經涉足了芯片領域,那就總有一天,會需要我們自己生產的加工設備的。”年過半百的負責人徐端義興奮地說道:“接到了您的消息之後,我們激動得一晚上都沒有睡著。”
國內搞光刻機也是有基礎的,清華大學就是其中之一,他們的精密儀器係就是專業對口的,當年,為了搞國產的光刻機,他們曾經舉行過大會戰,在71年研製出中國第一台光刻機和分步重複照相機,並投入規模生產,供應全國半導體行業使用。前幾年則是進一步研製了第三代“自動對準分步投影光刻機”,這款光刻機其實已經達到了世界先進水平,國際上的同行還曾經紛紛前來觀摩學習,可惜當時沒有任何的知識產權的概念,他們是知無不言言無不儘。
結果,技術都被國外同行學去了,他們生產的光刻機卻沒有客戶使用,之後幾年,他們也放棄了光刻機的研發。
徐端義是國內搞光刻機的領軍人,心中是非常痛苦的,現在,終於迎來了好消息,秦總要投資搞光刻機了!
“我想知道,如果我們搞光刻機,能不能達到世界一流水平,以後我們自己就可以生產,哪怕被國外封鎖都不怕?”秦濤也是單刀直入,畢竟他對這個行業不是特彆熟悉。
“秦總,光刻機說起來很高大上,但是實際上,它主要由三部分組成。”徐端義介紹起來:“它需要全球頂級的光源,也就是專門的激光係統;還需要高精度的鏡頭,以及精密儀器製造技術。在這三個領域裡,我們能解決最後一個,這是我們係的專長,但是,前兩個係統就難了。”
阿斯麥在後世很牛,是世界上最強的光刻機巨頭,但是,它也不過就是個總裝廠,各種零件走的都是全球合作的道路,比如說鏡頭來自德國的蔡司,光源來自美國企業cymer。
“對啊,尤其是激光的光源,目前在全世界的光刻機生產廠的麵前,都擺著193納米激光光源的技術鴻溝,我們想要研製世界先進水平的光刻機,還得解決這個難題。”一旁的係主任開口說道。
雖然已經放棄了光刻機的研發,但是,眾人還是關注這個行業的,秦總提出了這個想法之後,他們更是連夜收集了各種資料。
此時,他們必須要把各種困難都擺在眼前,告訴秦總這個行業有多難。
“你們聽說過濕刻法嗎?或者叫做浸潤法?”秦濤提出了這條技術路線。
“秦總,這個方法並不是主流的,屬於旁門左道,就算是解決了現在的193納米光源的問題,也無法繼續解決以後的問題,畢竟芯片製程需要不斷的更新。”徐端義說道。
這也是幾乎整個光刻機領域的工程師對林本堅的看法了,你這純粹就是歪門邪道啊!
“但是,這種方式更有可能以小博大。”秦濤說道:“各位,不知道你們想過沒有,就算是以後有了更先進的光源,但是照樣會遇到製程問題,而這種方法還能繼續使用啊!”
就拿尼康孜孜不倦地鑽研的157納米的光源相比,如果再借助這種濕刻法,那光源一下子就降低到100納米以下了啊!
“秦總,您認為這條路可行?”徐端義認真地問道。
“沒錯,我們先不用考慮後期的問題,我們首先要考慮的就是如何在短期內達到世界主流水平,我們已經不可能從國外獲得先進的光刻機了,但是我們的芯片產業不能崩,我們的龍芯一旦無法繼續發展下去,那很可能會被市場淘汰,我們不可能交給彆人代工,所以我們必須要有先進的光刻機,不管是什麼技術路線,是否走旁門左道。大領導有句話說得很好,不管是白貓黑貓,抓住老鼠就是好貓。”
徐端義點頭:“秦總,我理解您的緊迫性,如果要是使用這種技術的話,那就能使用我們現有的193納米的光源,我們需要的鏡頭,可以請華亭光學儀器廠幫忙打磨,我們還真能繼續向前走一大步,不過…”
“不過什麼?”秦濤問道。
“首先,研發先進的光刻機需要大量的資金作為後盾。”徐端義說道:“現在,國家並沒有相關的研發資金,如果我們要自籌資金研發的話,預計要投入數億。”
“資金方麵不是問題。”秦濤說道:“按照我的設想,我們明州集團會成立一個專門的微電子裝備有限公司,專門研製芯片的各種裝備。如果你們大學願意的話,我希望能將曾經的光刻機研發團隊全部都抽調過來,加入我們公司。我們的合作模式可以再詳談,如果研發人員還歸屬於你們大學編製的話,那你們可以靠這些人員占百分之二十的股份。”
徐端義睜大了眼睛:“秦總,您真是太康慨了,如果隻是出人手,就能占百分之二十股份的話,那我們沾了你們明州集團很大的光啊。”
這些科研團隊,原本都已經解散了,他們的心中是鬱悶的,現在,重新組建起來公司,專門從事他們最想從事的事業,哪怕不給錢,哪怕讓他們從大學辭職,他們都認了。
能給大學百分之二十的股份,他們占了大便宜啊。
明州集團就是財大氣粗啊!
秦濤有能力做這些事情,那就沒什麼說的,放心大膽的去做了!明州集團曾經投入大筆的資金搞芯片,現在,芯片產業已經開始盈利了,不管是內存,還是處理器,明州集團的產品已經成為了國內追捧的產品。
在裝機市場上,很多人都指明了要龍芯處理器!很多遊戲隻有龍芯處理器能玩!英特爾已經被邊緣化了,更不用說amd了。
但是,人無遠慮必有近憂,如果芯片產業無法升級,在那個該死的協議的打壓下,他們無法繼續進步的話,那以後就會被市場淘汰。既然從外界難以得到,那就乾脆自己搞定!