周詩笑了笑。
接下來，趙小匠才開始正式向幾人說了自己的計劃。
“什麼？”
“你沒開玩笑吧？”
“這難度可不是一般的小！”
這次三個女生的意見難得統一矛頭直指趙小匠。
“這不還什麼，就開始為一個鑽石鬥來鬥去，看來自己找一個有挑戰的項目給她們三個找點事乾是一步妙棋。”趙小匠心中得意道。
周詩她們三人齊聲反對趙小匠，主要是趙小匠拋出的項目居然是開發芯片生產線，而且第一目標就是光刻機。
“你們彆激動好不？我又不是奔著130納米和90納米這個行業標杆去。”趙小匠解釋道。
“那你是奔著那個製程去的？”王曦現在可是江城集成電路公司的總經理，雖然現在趙小匠的團隊對江城集成電路公司的控製力度很小，可是王曦天天都在處理這方麵的事情對芯片這塊是三個女生中最有發言權的。
“200納米啊？”趙小匠道。
“200納米這不是咱們引進生產線的製程嗎？”王曦狐疑問。
“對啊，我可是已經打聽過了咱們引進的5英寸生產線有的工廠可以做出120納米的製程。我是這樣想的咱們第一步先仿製出200納米的光刻機，再慢想辦法升級。”趙小匠解釋道。
“這好像有點道理，能不能說的再詳細點。”王曦問。
“我是這樣想的5英寸生產線最早是在上世紀80年代初就出現了，距今已經過去20來年了，國內在92年引進5英寸的芯片生產線，關於該生產線無論是資料還是實物，國內都有一定的研究，國外的資料很多也是公開的，現在無非就是製造技術上跟不上。”趙小匠繼續解釋道。
“對，對，這事我有印象前幾天劉明元教授還來找過我，他說第一條5英寸的生產線就落戶在江城，江城的不少高校和科研機構都有相關的資料，還表示最近聯係到不少的參與該生產線研究的專家，建議我們可以組織一個芯片生產線協會，把這些專家給集中起來。”王曦道。
“王姐看來下了不少功夫啊，我也是這個意思，咱們引進5英寸的生產線就是建立在江城有5英寸生產線的底子上，所以劉明元教授的提議我是支持的，具體方案王姐你定一下就好。”趙小匠道。
說起來江城也是國內集成電路公司發展的中心，90年代相繼興建了國內第一條5英寸，6英寸，8英寸的生產線，誕生了國內最知道的芯片公司夏虹，夏芯。
“匠哥，莫非你這次去計量院就是解決光刻機的問題？”王曦反應了過來。
“對了，如果咱們要實現200納米的光刻機生產，第一要克服33%法則，即光刻機的套刻精度要達到66納米，這一點即便咱們之前開發超精密機床也不到達到，第二就是要實現套刻的精度還得提高光刻機掩膜台的高精度定位，所以最終的精度還得再提到套刻精度的13，也就實際的精度為13納米，設備的精度與製程的精度相差整整15倍。
這次我從計量院搞到了精度在10納米左右的超高精度的激光乾涉儀設計方案，隻要我們能將設計變為現實，這光刻機就指日可待了！”趙小匠道。
“搞了半天，咱們又回到了開發儀器上。”王曦道。
趙小匠點了點頭。：，，.