胡一亭視察了一遍重光中央研究院後,和研發人員們開了個碰頭會,了解了一下目前的研發項目進度,會後和康耀祥吳市歡商量了下,決定由康耀祥吳市歡等五人和胡一亭一起,加入微電子所的技術攻關。
接下來兩周,重光技術小組陷在微電子所裡,和這裡的技術人員一起工作。
胡一亭身披一套“國內ic業界絕頂天才神童”的偽裝色,親自對微電子所8微米集成電路技術的一係列工藝問題進行了解答,並親自出手參與試驗線路微調改造。
從無塵實驗室出來,經過兩道隔離門,胡一亭和吳登超、康耀祥等技術人員在更衣室內脫去厚重的防塵防靜電工作服。
經過一天緊張勞累後,吳所長依然難掩興奮之情:“胡一亭你太神了!你今天是怎麼知道問題出在這台分步重複投影光刻機的物鏡溫度上的?”
胡一亭笑著掩飾道:“我也是猜的,之前幾天我們已經把離子濺射機反複排查了幾遍,調整了離子注入濃度,既然還是有問題,那就很可能是光刻機的投影線寬不穩定導致的,而且吳所你們發現沒有,我們這幾天連續流片104次,開始的48次,每次相隔一個小時,每小時的良品率雖然都不一樣,但也出現了有規律的微弱波動,開始時,高值波峰總是在白天中午,波穀數據總是在淩晨以後。後來的46次流片中,機器連續運轉,結果出現了一個明顯的良品率先低後高再低的波動曲線,所以我猜很有可能是物鏡過熱,出現了工作溫差,機器內部大約1攝氏度的溫差下,物鏡的投影寬度受到影響。”
康耀祥驚奇道:“所以你判斷光刻機物鏡的真空工作模式出現了問題,導致物鏡無法恒溫?”
吳市歡激動道:“結果胡總猜的真準,讓光學所的工程師給關了真空泵,換了套靜電離子氣體循環係統,良品率一下子穩定在了最高值!這真是太神了!胡一亭你簡直是個小狐狸!”
吳登超所長興奮道:“經過昨晚到今天下午的連續調試,現在連續10次流片都能把良品率穩定在50%到55%!實在太棒了!好小子!乾的好!神了!”
胡一亭的肚子突然發出一陣陣的咕嚕聲。
吳所問道:“你們都餓了吧?”
微電子所的高級工程師商祺一邊換襯衣一邊訴苦道:“中午大家嫌進進出出要換防塵服太麻煩,都沒吃飯呢,所長,要不你給整個席麵?咱們補充一下營養?”
吳市歡拉開西服前襟,摸著肚子道:“就是,都餓憋了!”
吳所哈哈大笑:“吃!好好吃!55%的良品率就意味著生產終於能夠實現盈利了!怎麼吃都不過分!胡一亭你說吧,想吃什麼?”
吳所說完,從衣櫃裡拿出手表一看:“呀,都九點半了!咱們得抓緊。”
胡一亭疲憊地道:“熬夜熬得太累了,咱就彆跑遠了,所門口找個飯店,弄些小炒,吃完趕緊回來睡一覺。明天咱們繼續接著乾,把我說的氣壓補償係統搞出來。這個循環泵我看有問題,氣壓不穩定。”
經過這兩周的合作,商祺總工程師對胡一亭的能力已經達到了迷信的程度,聚精會神地聽胡一亭說完,立刻道:“我晚上就安排人手,把氣體循環係統上那套德州儀器的se3111控製係統給換成國家航天局提供的衛星氣壓傳感器和控製係統。”
胡一亭無力地點點頭:“那就辛苦你了,不過航天局的那套係統不能直接用,我明天上午還得把氣體補償係統的處理器控製軟件重新寫一遍,今晚不行,我得睡一覺。”
吳所趕緊道:“對對,身體要緊,健康才是革命的本錢。”
吳市歡道:“我看了你之前寫的工藝改進計劃書,這個控製軟件我覺得我也能寫一部分,要不我連夜寫,明天你幫我修改?”
康耀祥道:“要不請軟研所幫個忙吧?這套係統的控製軟件要重新編程,這起碼要一個禮拜的功夫,之後還要結合係統調整運行參數,後麵好多工作呢,光靠胡總工可不行。”