第321章 怒吼的學術權威(2 / 2)

聽到奚龍山發難,立刻有同事也參與進來:“胡工康工你們好,我叫王選玉,也是214所的高級工程師,我想請問你們有什麼辦法解決光刻膠引起的顯影缺陷嗎?目前國內工藝裡的光刻膠清洗中,殘膠問題很突出,導致下一工序中的重複投影出現圖形失效的問題很突出,你們的實驗線有沒有打算對這一問題進行改進?”

顧峽生一看這陣仗嚇了一跳,心說這不是為難人家嘛,這個胡一亭數學水平再高,也對付不了你們這群術業有專攻的高工啊!高級工程師可是副教授級彆,研究員級高級工程師是正教授級彆。好家夥,這一群人裡倒有一半是正教授,剩下一半副教授,你們一人問一個問題,這胡總就是有三頭六臂也答不上來吧!他雖然是世界級數學天才,有精通ic設計,但怎麼說也不可能對工藝製程了解的像你們這麼深啊!

“大家都彆為難胡總和康總了,這些技術問題是所有晶圓廠的通病,你們這樣問,讓康總和胡總怎麼回答嘛!”

康耀祥也訕訕地笑著,心說這還真不好回答,畢竟每個廠都有自己的工藝,解決問題的辦法各不相同,真要籠統的回答,未免要被大家瞧不起,但若不結合具體問題來談,那這個問題就沒了邊際,說道明天早上也說不完啊。

正當康耀祥猶豫著怎麼說才合適的時候,胡一亭卻很認真地開了口。

“這有什麼難的,光刻機鏡頭是個大型組合鏡頭,光是鏡片就有十幾二十片,套筒一個接一個,想要完全避免幾何畸變是不可能的,這個問題無論哪家光刻機廠商都有。

作為照明源的高壓汞燈能量很高,曝光時的快門速度隻有零點幾秒,自然是會導致鏡頭組件出現瞬間加熱又瞬間冷卻的幾何畸變,但這些都是工程上的問題,我們做製程的不要去過多的考慮,不要去抱怨機子不如外國人的問題,要是機子和外國人一樣好了,還要我們乾什麼!

我們要知道,製程工藝裡是允許幾何畸變的,甚至要利用幾何畸變,首先我們要摸清畸變的像場特征,從而在鏡頭對焦時尋找畸變誤差最小的對位點,這既要求我們一次次的實驗,尋找每個鏡頭的畸變像場特征,也要改進我們的矽片定位係統,改進激光乾涉儀的精度,確保畸變可控。

我就隻說這麼一個思路吧,再多的我就不說了,都是技術機密。

至於光刻膠殘留造成的顯影缺陷,那就更容易解決了,我再說一遍我們是搞製程的,不是搞化學的,光刻膠今後再怎麼進化,用聚乙烯醇肉桂酸脂也好,環氧橡膠雙疊氮也好,酚醛樹脂重氮萘脂也好,那都是化工企業的問題,他們廠家怎麼改進配方,那都不是我們要關心的問題。

為了徹底脫膠,我的思路是上雙層膠,降低膠膜對光源的反射,也就是目前國際上剛提出來的用抗反射劑來解決膠體殘留影響曝光的思路,其中一層膠體在曝光下分解酸性氣體,可以徹底清除殘膠,解決殘膠影響曝光的問題,從而解決顯影缺陷。

好吧,我就說這麼多看,至於具體的雙膠工藝如何做,那都是技術機密,我不能說。

總之突破這兩個工藝之後,製程技術直上50納米不成問題!今後我們重光的製程技術攻關就在這兩點上!!!”

要知道,胡一亭在跳槽華創擔綱天思930芯片研發總設計師之前,他在浦海微電子裝備集團就是專門負責集成電路生產設備的製造與生產工藝流程結合,負責為光刻機等先進製程設備與具體ic生產工藝融合而設計最佳方案的!若論對於晶圓廠製程工藝的了解,他算是1996年地球上排名第一的學術權威。

他剛才這番話完全是按照世界製程工藝未來的技術路線在闡述,可謂是高屋建瓴般的技術見解,好比天水順著屋脊瓦當流下來那麼勢不可擋!

這年頭國內的製程工藝比起西方來還差得遠,西方對華的技術封鎖造成了國內在這方麵有大量技術空白。

對於在場的工程師們來說,胡一亭的話就像飛流直下三千尺的瀑布一樣具有衝擊力,聽在耳朵裡簡直就像是晴天霹靂,大家覺得胡一亭的路子實在是邪門!實在是野!但似乎又充滿了讓人渾身起雞皮疙瘩的靈感!就好像在大家的眼前打開了一閃光芒四射的大門!門後是堆積如山的奇珍異寶正在爍爍發光!

胡一亭低著頭說完之後,抬起頭來,見所有人都在激動而不安地注視著他。

以為大家不相信自己的胡一亭開始惱火,揚聲大吼道:

“怎麼啦?我說錯啦?誰不服站出來說說你的解決方案!

你們啊!圖樣圖森破!

我胡一亭是不可能錯的!

隻要你們跟著我乾!35微米那就是小菜一碟!

50納米……指日可待!!!”

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