第181章 安裝設備（上）
“吊車已經在路上了，過幾分鐘就能到。”
眾人站在無塵車間外等了幾分鐘，兩輛20噸級吊車就趕到了瑞達電子廠，而後以吊裝的方式，將集裝箱貨車上的光刻機和刻蝕機，分彆送入四個無塵車間。接下來就是漫長的設備安裝和調試，光刻機和刻蝕機，是這個世界上最精密的設備之二，可以在晶圓上完成納米級彆的精加工，如此高端的設備，對安裝環境的要求也是非常的苛刻，平整度、溫度、安裝精度缺一不可。瑞達電子廠斥巨資打造這四個電子級無塵車間，主要就是為了這兩種設備服務。
王成業院士捧著一本足有磚頭厚的英文原版安裝說明書，一邊翻看，一邊感歎道：“嘖嘖嘖，不愧是當前世界最先進的DUV光刻機，隻是安裝說明書，就有上千頁，看著就讓人頭大。”
林夢鬆也跟著附和道：“誰說不是呢，越高端的設備越是嬌貴，就拿這台光刻機來說，安裝的環境溫度高了不行，濕度大了不行，灰塵多了也不行，噪音稍稍大一些，成品率都會受到影響。”
“要說還是咱們喬同學神通廣大，最阿斯麥先進的DUV光刻機都能搞的來，有了它，衝擊28nm製程一點難度都沒有。”周萬達看著麵前這幾台設備，口水都要流下來了。要是他所在的北大集成電路實驗室有兩台如此先進的光刻機，怕是28nm製程早就攻克了。
林夢鬆撫摸著一台光刻機的外殼，說道：“小了，你的野心也太小了，28nm算什麼，有了這些最先進的DUV光刻機和刻蝕機，通過套刻，多次曝光等工藝，實現7nm芯片的製造都是可能的，隻是成品率可能沒那麼高。”
“我去，真的假的，如果真的實現了7nm工藝，那豈不是領先主流芯片加工技術三個節點，林博士，你不會是在吹牛吧？”
“我也覺得不可能，如果這套設備真的能實現7nm工藝製程，那摩爾定律豈不是要失效了。”
“我看那些期刊上說，要在芯片加工領域實現7nm工藝製程，必須使用光波更短的EUV（極紫外）光刻機，這個DUV光刻機做不到這麼小的加工精度吧，能實現14nm工藝就已經很了不起了。”
眾人對林夢鬆的觀點，紛紛提出了質疑，隻有重生一世的喬瑞達知道，使用DUV光刻機是真的可以實現7nm的芯片加工工藝。不過實現這個工藝的難度非常非常的大，以至於全世界隻有兩個團隊做到了，一個是台積電的工程師團隊，另一個就是林夢鬆帶領的中芯國際團隊。當然那是未來若乾年之後，才會發生的事情，而且隨著喬瑞達插手，林夢鬆的命運軌跡已經改變，就算他再次帶領團隊實現了這一壯舉，也會打上瑞達科技的烙印，而不是中芯國際。
接下來的大半天時間，喬瑞達陪著安裝工程師、王院士、林博士等人，在無塵車間內，按照說明書，小心的完成了一台光刻機的安裝工作。其實按照慣例，采購這種高端設備，一般需要生產廠家派出專家或工程師，輔助客戶安裝到位，這也是售後服務的一部分。但是喬瑞達弄來的這些設備，來路不正當，自然不可能邀請阿斯麥的工程師來輔助指導安裝。好在喬瑞達在複製設備的同時，一並複製幾套這些設備的詳細安裝使用說明書，大家按圖索驥、集思廣益，也能把這些光刻機刻蝕機安裝到位，但是這個安裝過程，消耗的時間，就要長很多了。