在此期間,在周萬達的一再邀請下,王成業院士將手頭的工作,交給了學生,也來到了吊裝現場。
“我說小周,你這麼急吼吼的把我喊過來,不會就為了讓我看這兩台吊車吊裝設備吧?同樣的場景,我這些日子天天看,已經不新鮮了。”
“嘿嘿,老師,我讓你看的可不是這些普通設備,真正的驚喜在車間裡麵呢。走,咱們去換無塵服,進車間去揭曉答案,看到它,保證讓你大吃一驚。”周萬達也沒有揭曉最終答案,畢竟說出來,就不叫驚喜了。
打發走車隊和吊車之後,喬瑞達和林孟鬆也換上無塵服,進入了車間。
王成業院士,圍著一個乳白色的集裝箱,轉了好幾圈,這才停下,好奇的詢問道:“看這集裝箱的尺寸和外部設備,裡麵裝的是光刻機吧?不過這體積是不是太大了一些,比隔壁廠房那台最先進的DUV光刻機還要打不少。”
“嘿嘿,老師,您老真是慧眼如炬,這個集裝箱裡麵,裝的確實是光刻機,不過具體型號,我就不提前透露了。等過一會兒,環境調節到位,咱們親自上手,打開它。”周萬達撫摸著麵前的集裝箱,眼神格外灼熱。雖然從喬瑞達那裡知道了這個集裝箱裡,裝的是EUV光刻機,但成熟的EUV光刻機到底長得什麼樣,和阿斯麥公司公開展示的樣子是否一致,他依舊充滿了好奇。
喬瑞達和林孟鬆二人是最後進入車間的的,此時安裝在車間頂層的大型除塵和空調設備,已經工作了好長一段時間,車間內的環境已經基本達到了無塵,和恒溫恒濕要求。王院士和周萬達,已經指揮著一眾工程師,上手拆卸集裝箱了。
有道是人多力量大,上百名工程師,拿著各種工具,一起動手,幾個整體吊裝進來的集裝箱,全部打開,裡麵的設備,揭開了神秘的麵紗,展現在了大家的麵前。看到第一台設備,大家就齊齊倒抽一口涼氣,為全球變暖做出了一份卓越的貢獻。
“Extreme Ultra-violet,極紫外光刻機,嘶——你確定這個沒標錯,國內真的能買的到極紫外光刻機。”
“應該是EUV光刻機沒錯了,看這尺寸,看這體積,比DUV光刻機大太多了。再來看看這反射鏡,看看這複雜的光路,絕對是EUV光刻機沒跑了。”
“要說還是咱們喬總神通廣大,連阿斯麥尚未量產的設備,都能搞得到,真是太利害了。”
“這台光刻機的工件台也太大了吧,難道是為了加工12英寸晶圓設計的?”
“很有可能呀,其實不止是光刻機的工件台大,後麵的幾台設備,放置晶圓的平台,同樣很大。我猜測,這整條芯片生產線,很可能就是按照加工12寸晶圓設計的。”