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6月1日。
濱海電視台外景記者汪冰冰，帶著攝製團隊，來到濱海芯片有限公司。
公司總經理吳雪，隨同介紹。
汪冰冰詢問道：“吳總，你們公司的穩態微聚束（SSMB）極紫外光源設施，就是你在國際半導體論壇上，說的光刻機工廠嗎？”
“沒錯！”
吳雪笑著點點頭。
她帶著汪冰冰等人，來到一處環形建築前。
吳雪耐心介紹道：“你們眼前的環形建築，就是穩態微聚束（SSMB）極紫外光源設施，項目總建築麵積為12.5萬平方米，周長148米。
它主要包括直線加速器、波蕩器、光束線、增強器、電子儲存環、實驗站等等。
位於源頭的電子束，產生電子後，直線加速到接近光速，在波蕩器裡偏轉發出SR。
電子束團震蕩過後，變成微聚束，長度縮的很短，更加聚集，還有相乾性。
通過增強器，功率指數增加至上限。
電子束團進入電子儲存環後，引入激光調製係統，加上扭擺磁鐵，橫向縱向下手調製，巧妙地把電子束更加完美地聚集在一起。
不斷繞圈之後，強光呈現出微態。
其特性，簡單來說，就是微聚束的相乾輻射發強光+存儲環高重頻。
穩態微聚束（SSMB）極紫外光源設施，發出的光源，相對好控製。
需要發出強光時，就讓微聚束發出相乾輻射，導出EUV光源進行光刻……”
汪冰冰一行人，邊參觀邊聽介紹。
當眾人來到增強器隧道後。
他們一眼望去，能看到裡麵排布著許多五顏六色，形狀各異的“大家夥”。
吳雪的聲音，不斷響起。
“你們看到的大家夥，其實是磁鐵係統，主要控製著電子的方向。”
“紅色長方體狀磁鐵是二極鐵，可以讓電子‘轉彎’。”
“藍色的磁鐵是四極鐵，可以把‘想往外跑’的電子拉回來。”
“整個增強器區域元件數量多，真空連接段眾多，排列緊湊。”
“其中，弧區包含磁鐵、真空和束測設備等132個預準直單元以及128塊二極磁鐵，直線節包括注入引出設備、高頻、磁鐵、真空和束測設備等……”
聽到一係列的介紹。
汪冰冰等人，都不明覺厲的點點頭。
她詢問道：“吳總，目前科學界探索的EUV光刻機，主要有四種，分彆是SSMB、LPP、SR、SRF-FEL。
荷國阿斯麥爾公司，采用的是LPP模式，最終產生13.5nm的EUV光源，做出了EUV光刻機。
SSMB模式相比LPP更進一步，被稱為未來EUV光源，能夠產生1nm以下電子束。”
“是的！”
吳雪點頭道：“阿斯麥爾公司，為了出貨到各地的晶圓廠，把光刻機做成小型化，而我們直接打造大型的光刻工廠。
我們建設的‘環形建築’，直接讓光‘跑’起來。
其產生的光源，通過不斷的篩選，可以得到28nm、14nm、7nm、5nm、4nm、3nm、2nm、1nm等不同規格的光束。
目前，我們的光刻工廠，已經能達到穩態的高功率光源，可以將電子加速到接近光速，產生產生波長短、功率大的光源，來提升芯片的製程工藝。”