1月15日,星期六。
合痩市。
乘坐高鐵的衛明,來到了這座城市。
為此他特意跟樊姐請了兩天假,提前處理了三十多名結石病人,合計騰出了三天時間,就為了解決掉一個問題。
人才!
高端光刻機的研發人才。
而且衛明已經有了明確的招募目標,他認為的最合適最優秀的人才,就在合瘦市這邊。
此人名叫蒲偉才。
衛明是在網上查找相關信息的過程中,看到了多條關於此人的新聞。
也注意到此人帶領的研發團隊,取得的跟光刻機相關的多項研究成果,明白了此人的牛叉之處。
因為這些天衛明也在大力學習一些跟光刻機相關的知識,了解到了EUV光刻機的幾大核心技術。
一個,組裝。
光刻機最重要的技術之一是組裝,就是把所有的元件組裝起來,然後使分辨率達到最高,同時套刻精度達到最佳。
比如機器內部溫度的變化要控製在千分之五度,得有合適的冷卻方法,精準的測溫傳感器。一台光刻機中,包含十幾個分係統,幾萬個機械件,數百個的傳感器,每一個都要穩定。
二,控製。
光刻機是製造業內對精密性要求最高的產品。光刻的原理就像在米粒大小的麵積上,雕刻納米級大小的文字,對於誤差的要求可想而知。
比如光刻機裡有2個同步運動的工件台,一個載底片,一個載膠片。兩者需始終同步,誤差在2納米以下。兩個工作台由靜到動,加速度跟導彈發射差不多。
三,光源。
製造EUV需要極高的能量。EUV能被空氣吸收,所以光刻環節必須耗電保持真空環境。更誇張的是,EUV還能被透鏡吸收,所以隻能用十幾次麵透鏡,通過不斷反射將光源集中。
每反射1次,EUV的能量就會損失3成。十幾次反射後,到達晶圓的光線理論上隻剩下2%。從能連趕上看,寒國某半導體企業曾經說過,極紫外光EUV的能源轉換效率隻有0.02%左右。
四、鏡頭。
光刻機的中心鏡頭對於鏡頭要求較高,位於光刻機中心的鏡頭,由20多塊鍋底大的鏡片串聯組成,需要高純度透光以及高拋光。
目前,符合光刻機要求的鏡片還無法靠機器製造,先進光刻機鏡頭全部由手工打磨而成,能夠達到這一標準的公司並不多,全世界範圍內也就一兩家,全部是西方老牌公司。
而這四大類的核心技術中。
衛明了解到這位牛人蒲偉才跟他的技術團隊,在短短的十年時間裡,一共攻克了兩項。
分彆是雙工台技術與光源技術。
他帶領團隊研發出的高精密雙工台,控製精度也達到了2納米,跟國外最先進水平,達到了同等先進的程度,抹平了技術差距,可以說是打成了平手。
而在光源技術方麵,蒲偉才也是隻用了短短幾年時間,利用國內在激光技術領域的領先地位,以及材料方麵的領先優勢,開發出的EUV光源係統,最終能源利用率達到了5%。
較之於艾思邁EUV光刻機的2%,能源利用率提升了一倍還多!
這意味著光刻機在使用的過程中,能節省一半多的電,減少產生大量的熱量,係統的穩定性能提高不少。