光刻機很難。
真的非常非常難。
難度係數是氫彈的十倍。
哪怕傾舉國之力都不可能在短期內拿得下。
以上這些,是經常充斥在衛明耳邊的話,聽得他幾乎耳朵長繭。
真的有那麼難麼?
這些天,親自進入研發工廠,了解透了光刻機的工作原理,在“老板工作間”內,利用體內的小黑,輕鬆打磨出幾十個合格的高精密零件,以及20塊的“鍋蓋”鏡片——每塊“鍋蓋”鏡片,由四十層玻璃疊加而成,表麵凸起不得超過1納米。
“很簡單麼,好像沒什麼難的。”
看著麵前成批成批的精度完全合格的零件,衛明撇了撇嘴說道。
“到底難在了什麼地方?”
“光源發生器非常難。”
蒲偉才說道:“要製造出波長13.5納米的極紫外光,必須要用193納米波長的深紫外光,擊打自由落體的金屬錫滴,而且要在極短的時間內,連續擊中錫滴兩次,每秒重複5萬次,才能產生足夠強度的極紫外光。”
要知道金屬錫滴的直徑隻有二十微米。
自由落體的過程中,不僅要被激光擊中,由水滴狀攤平成圓餅狀,再進行第二次擊打,才能擊發出最強烈的極紫外光……整個過程,完全是動態中發生的,如同用繡花針擊中蒼蠅,而且是連續兩次。
並在一秒內,重複五萬次這套操作。
“你不是說已經解決了光源問題了麼?而且能源利用率達到了5%?”衛明不解的道。
“光源是解決了,是因為我用的擊打光源,是用特殊晶體擊發出的132納米光,能量利用率肯定比193納米光高的多,但是要想製造強度足夠的13.5納米波長的極紫外光,還是得通過擊打錫滴的方式達到,這是唯一可行的路徑。”
“也就是說,你們隻搞定了擊打光源,然後就說搞定了光源……這兩個不是一碼事吧?”
衛明眉頭皺了起來。
“衛總,我們不是搞虛假宣傳,可是長期的科學研究,如果沒有點成果的話,誰會關注我們,上麵怎麼給我們撥款?所以哪怕隻是部分突破,也得重點宣傳一番。”
一旁的向廣林解釋說道。
“其實我們正在攻克的最後一項難題,就是錫滴的擊打頻率問題。”
蒲偉才也道:“我們已經解決了連續擊打問題,但每秒最多重複5000次,不過我們的能量利用率更高,隻要能做到每秒重複2萬次,就能得到足夠使用的光照強度了。”
“所以我們的能量利用率不是沒有意義,每秒2萬次比每秒5萬次,要明顯容易實現多了。”
“每秒2萬次……”
衛明沉吟了一下,道:“還缺什麼條件,阻止你們達到這個頻率?”
“精度,控製係統的精度。”
蒲偉才說道:“如同一個時鐘,同時精確掌控2萬滴錫滴的自由下落,以及4萬次的擊打,時間上,每秒內的誤差,不得超過十億分之一秒;距離上,每秒不能超過1納米,並且還要設計一套‘偏差糾正’係統,隻要誤差累積過大,就會自動糾正,讓係統長期穩定的運轉下去。”
“目前我們正在全力攻克控製係統,糾偏係統稍稍靠後,但也安排了團隊進行攻關。”
“當然如果從島國進口的相關零件,很快能到我們手中,可能三個月內,我們就能實現擊打頻率突破2萬次。”
島國?
三個月?
衛明搖頭笑了笑,道:“缺什麼零件,就交給我吧,我給你們搗鼓出來。”
接著他連續搗鼓了三天時間。
激光頻率控製器。
高靈敏距離感應器。
還有這個什麼器,那個什麼裝置,衛明叫不出什麼專業名稱的東西。
三天內衛明一共搞了十幾個。
然後讓蒲偉才他們,把這些裝置,塞入到了控製係統中,以極高精度要求,組裝到了一起。
再開啟了試運行。
“釋放錫滴,初始頻率每秒1滴。”蒲偉才進行指揮說道。
“開始釋放!”
“兩次擊打成功,攤平形狀完美,激發效果完美!”
“增加釋放頻率。”
“每秒50次試驗成功。”
“每秒500次試驗成功!”
“每秒5150次試驗成功!追平最高紀錄。”操作員聲音微顫的道。