我們這是在造EUV光源,不是搞核聚變的!
就算你把仿星器設計出來了,是憑我們就能造出來的嗎?!
何永看到這張圖的第一眼,隻覺得這太離譜了,
但多看兩眼之後,他很快就發現,它雖然像仿星器,但實際上卻和仿星器還是有比較大的區彆。
仿星器的設計,是個完美的閉環磁場,而這個顯然是個開環,結構也相對簡單很多。
何永又看了看這張圖的技術說明,很快就理解了康馳這套改良方案,具體的原理是什麼。
在DPP-EUV方案中,最大的問題,就是在電離錫的時候,會產生大量的錫碎屑,
這些碎屑溫度極高,很容易腐蝕、汙染電極和設備,
尤其是收集光線的反射鏡,
一旦受損,收集光線的效率就會直線降低。
所以康馳就用了一個類似仿星器的磁約束原理,製造一股無形的‘風’,把這些電離過程中產生的錫碎屑,沿著設計好的磁場路線吹出去。
想法是很好,但這可能實現嗎?
先不說這個強磁場能不能造出來,就算造出來了,這麼強的磁場,會不會對設備的其它部件,造成乾擾影響?
而且除了這個磁場清理碎屑的改良點,何永在接下來,還發現了康馳另外一個更瘋狂的改良。
錫本來應該塗抹在電極上的,
但康馳直接在電極中間加了個噴嘴,把錫加熱到2260度,變成氣體噴出去!
原理其實和燃油發動機有點像,噴油嘴噴油,然後火花塞點火,
區彆隻是一個燃燒膨脹作功,一個電離發光。
這麼做有個好處,就是能夠解決重頻放電的光源穩定性,同時很容易增大光源功率。
但這一切的前提,都是那個像仿星器的磁場設計,到底行不行。
如果這套磁場設計不行的話,錫氣一噴,整個裝置就毀了。
想到這裡,何永立即召開了一場技術研討會,直接在會議上公布了康馳的改良方案。
當看到康馳的方案,並聽完何永的講解後,整個會議室頓時就陷入了很長一段時間的沉默。
所有人都被這個大膽而瘋狂的方案給震住了。
而何永也給了他們充足的時間,來消化這些信息。
過了足足三分鐘,才終於有人開口問道:“這……能行嗎?”
“我也不知道。”何永看了眾人一眼,
“從理論上來說,這確實是一個方向,但具體能不能實現,得先對這個設計理論進行模擬驗證……老廖,磁場這塊你比較擅長,所以磁場分析就交給伱了。”
被點到名的廖遠點了點頭:“給我兩天時間。”
何永隨即又把目光,放在了另一位五十多歲的老者身上:“老許,你過來先仔細研究一下設計圖,看看有多少把握造能造出來。”
隨後何永便把位置讓了出來。
老許對著電腦,研究了大概半個多小時的圖紙,最後才點頭道:“應該沒太大問題。”
“這雖然看著像仿星器,但實際上它的要求沒這麼苛刻,仿星器需要控製的是核聚變,不但對磁力要求特彆大,還得不能有絲毫的偏差,但這個隻需要大概控製住磁場的走向,設備精度要求低一些,體積也不算大。”
何永聽完頓時就放心了,
接下來,就等設計理論模擬驗證的結果了。
(本章完)