如智雲S303芯片,在指甲蓋的芯片上,封裝了足足七億多個晶體管。
其技術難度相當於在指甲蓋大小的芯片上,雕刻一座規模龐大的超級城市,而且還是住滿人的超級大城市。
這種超高精度的加工,除了對設備要求極為苛刻外,還對環境要求也極為苛刻。
為了避影響測試,徐申學其實從頭到尾都沒有進入過機房,隻是在外頭隔著玻璃看一眼看而已。
而等測試開始後,為了避免外部光線進入影響測試,乾脆是把玻璃窗都給遮擋了。
如今的徐申學以及其他一群人,隻能是在外頭的觀察室裡,通過實驗室裡的攝像頭進行觀察。
不過怎麼說呢,芯片的生產雖然各種難,但是真正生產起來卻是沒有什麼驚天動地的舉動。
甚至連聲音也沒有多大,震動更是沒有。
一旁的工作人員都不敢說話,害怕聲音引起的震動影響測試……儘管這是他們的瞎擔心。
但是,在這種關鍵的試驗測試裡,很多人都是不由自主的謹慎了許多。
裡頭的那台DUV乾式光刻機,可是彙集了無數人的心血啊,多少人為這台光刻機的順利誕生而嘔心瀝血啊!
如今到了實際測試,看一看真本事的時候了,哪能不在乎、不小心啊!
徐申學看著攝像機裡的內容,整個芯片生產過程都是沒有人工參與,全部都是自動化設備進行。
沒有多久,一旁的王道林就帶著一絲激動站起來道:“光刻已經順利完成了,後麵就是要進行接下來的幾道去膠等工序,然後我們就可以看到試驗結果了!”
徐申學一副鎮定表情微微點頭!
看王道林這些人啊,就是眼界小了,格局差了,不過是第一遍光刻工序完成而已,這都是既定程序,沒啥好驚奇的。
不久後,隨著多道後續工序完成後,王道林道:“現在基本工序已經完成了,接下來就可以用電子掃描鏡進行觀察了。”
隻是光刻試驗而已,自然不需要正常芯片生產流程裡的諸多後續工序,隻需要光刻後進行去膠清洗等環節,做到能夠觀察其內部結構就行了。
很快,這一片晶圓片就被切割,然後其中的一片芯片被送到了專用的電子掃描鏡下進行放大觀察。
王道林一邊解釋道:“我們測試用的芯片,是一種集團裡的低製程功能芯片,采用的是六十五納米工藝,正好用來測試我們的DUV乾式光刻機!”
這一次測試,隻是測試光刻機的可用性,可不考慮什麼良品率之類的問題,因此隻需要通過最基本的測試就過關。
很快,電子掃描鏡那邊也陸續給出了圖像,一群研究人員對著顯示器裡的密密麻的芯片內部,納米級彆的晶體管電路進行檢查分析。
而分析的過程裡,可以看見那幾個工程師臉上的笑容越來越盛。
到了最後,其中一個工程師忍不住站起來:“成功了,我們成功了,光刻精度完全達到了設計要求!”
這個時候,不等王道林說話,原本坐著的徐申學自己就站起來快步走了過去。
然後看向屏幕裡的大片讓人看一眼就頭暈的密密麻麻的晶體管電路圖。
王道林也跟上來:“終於是成功了,徐董,我們沒有辜負您的期望,這DUV乾式光刻機,我們總算是做出來了!”
“隻要現在的
基本性能達到了設計指標,哪怕後續還存在一些問題,我們也可以後續慢慢改進,逐步提升銷量,良率,然後用於實際生產!”
徐申學道:“好,好的很!”
“辛苦大家了,今天晚上我做東,大家都要來,我們不醉不歸!”
“然後,項目獲得了成功,而我徐某人呢,除了有幾個臭錢外也沒其他的了,所有參與該項目研發的研發人員,這個月的績效一律三倍發放,技術骨乾另有獎金和期權奉上!”
“除了整機項目外,各子係統的研發團隊也一應如此!”
“了解我的人都知道,我徐申學從不說假大空的話,這筆獎金我相信會讓諸多滿意的!”
徐申學給錢大方,那可是出了名的……尤其是在一些重點研發領域裡給獎金那是給的超級大方。
智雲微電子那邊搞出來三十二納米工藝,徐申學一次性就對研發團隊發出去了超過三千萬的獎金!
光刻機領域裡也不例外,徐申學老早就說過,等你們搞出來DUV乾式光刻機的那一天,就是你們實現財富自由的時候。
多了不敢說,但是整機項目以及各子係統裡的核心技術人員,這一次的項目獎金足以讓他們在深城買房安家,全款的那種!
隻要東西搞出來,哪怕幾個億獎金對於徐申學而言那都不算什麼。
和這個DUV乾式光刻機的巨大意義比起來,這幾個億獎金算個屁!
儘管DUV乾式光刻機隻能用於六十五納米工藝,但是這東西卻是DUV浸潤式光刻機的前置技術。
大量的子係統都是通用的,或者是改進後就能用的。
這解決的是0-1的問題,後續DUV乾式光刻機到DUV浸潤式光刻機,那是1-9的問題。
儘管1-9也非常困難,但是有了這個1打基礎,那麼後續搞起來才有目標,有頭緒啊!
有了這個DUV乾式光刻機後,徐申學也就能夠真正暢想數年後把DUV浸入式光刻機弄出來了。
隻要把DUV浸潤式光刻機給弄出來,再配搭其他核心設備以及耗材,未來很多年都不用擔心被製裁封鎖了。
因為DUV浸潤式光刻機,使用多重曝光技術,是可以做出來等效7納米的芯片的。
甚至極端一些,都能做到等效5納米的芯片,隻不過成本會很高而已……
全麵可自主的等效7納米芯片工藝技術,這對智雲,對華夏的意義極其重大。
而等效5納米工藝的意義更大,哪怕它的生產成本比用EUV光刻機生產等效五納米工藝的芯片高得多,甚至通常情況下都不具備商用價值!
但是,其實際意義依舊重大,因為這解決的是有無問題!
人家的EUV光刻機製造的五納米,甚至三納米,二納米的芯片,尤其AI芯片那是各種好,問題是你買不到啊……
這個時候,自家如果有等效五納米工藝的芯片,尤其是AI芯片,也能勉強頂上去,性能差一些總比沒有強!