“他在方案中提到了一種名為等離子能量微投影係統的思路,這種方法能夠降低對高精度光學元件的依賴。根據他的計算,我們的工業級激光係統經過一定改裝後,可以在現有條件下模擬高精度投影效果……”
一開始,趙鴻德和李明嶽等人仍然是一副不屑一顧的表情,但隨著許雲川的講解逐漸深入,他們的表情開始變得微妙起來。
“等等,”陳國棟院士打斷了許雲川的話,皺著眉頭說道。
“等離子能量微投影係統?這確實是一個新思路,如果他算得沒錯的話,這種替代方案理論上是有可能的。”
“再說說他提到的工業改裝部分,”周曉峰院士推了推眼鏡,神色變得認真起來。
“你是說,他用現有工業激光器替代高端光刻光源?這……他的分析模型裡有這麼高的精度嗎?”
許雲川點頭,繼續講解方案中的內容,尤其是林奕對光刻機核心部件的簡化設計,以及對工業激光設備的替代應用。
隨著講解的深入,幾位院士的表情漸漸從輕視變成了震驚,甚至有人忍不住低聲驚歎起來。
“這小子的腦子……怎麼這麼好使?”張誌輝忍不住說道,“他一個本科生是怎麼想到這些的?這些替代思路太巧妙了!”
“是啊,這種思路完全跳出了我們的常規框架,我還以為這隻是一個學生的空想,沒想到竟然有這麼高的邏輯性和可行性。”李明嶽點頭,語氣中透出幾分佩服。
“如果這個方案真能實現,我們在光刻機技術上的進展馬上就可以彎道超車了!這小子絕對是個天才!”陳國棟也忍不住讚歎道。
“許老師,我承認,剛才是我小瞧了這個學生的能力。如果這個方案真能付諸實踐,那他確實有資格讓我們重新認識他。”最後,連一開始最不看好的趙鴻德都忍不住點頭。
“……這一步,按照他的思路,確實可以繞過高端光學設備的瓶頸,直接利用工業激光器進行替代。雖然精度略有損失,但完全可以通過後期的校準來補足。”許雲川指著屏幕上的設計圖,語氣肯定地說道。
“最重要的是,這種技術是可以驗證的!我們現有的實驗室設備就能完成所有的測試。”
隨著他的講解,幾位院士的表情逐漸從最初的懷疑,變成了目瞪口呆。
尤其是當許雲川講到方案的最後一步工業設備的簡單改裝時,趙鴻德一拍桌子,直接站了起來:“居然還可以這樣!這思路……這小子的腦袋是怎麼長的?”
“對啊!我們之前卡了那麼久,居然從沒想到還能這麼做!簡直是……天才的想法!”李明嶽也忍不住站起來連連點頭。
“這簡直顛覆了我們對光刻機技術的理解!太巧妙了!”陳國棟更是瞪大了眼睛,一臉不敢置信地說道。
“許老師,這事兒不能拖了!我們現在就去找林奕,把他喊起來,讓他親自參與實驗驗證!”張誌輝顯然已經忍不住了,快步走到許雲川身邊。
“對!現在就去!這麼好的方案,哪怕今晚不睡覺,我也要馬上驗證!”趙鴻德也附和道,眼中已經沒有了最初的懷疑,取而代之的是迫不及待的興奮。