第一八零章 FinFET工藝(2 / 2)

大國芯工 推土機FFX 4136 字 11個月前

價值人民幣上億,貴可能貴了點,不過王岸然認為有價值,這就已經足夠了。

與此同時,浸入式光刻與雙工台的研究也開始進入日程,讓王岸然苦惱的是,他找不到合適的技術帶頭人,所以一直無法推進。

不過另一項與浸入式光刻齊名的fi生產工藝,王岸然覺的大有可為。

fin field_effect transistor 鰭式場效應晶體管,相比與mos晶體管而言,這是一款新型的晶體管模式。

是由華人科學家胡正明教授提出,並建立了係統的數學模型。

特點是工藝不變的情況下,可以在相同的麵積內塞進更多的晶體管,而且漏電量和功耗同步大幅度降低。

fi技術在9102年已經相當成熟,他本是intel於2011年第一次推出,用於22納米製造工藝上的第三代酷睿處理器上,隨後大部分的半導體廠家開始加入到fi工藝陣營當中。

技術難度比起普通的mos有所提高,工藝上也增加了幾十道光刻、蝕刻、清洗、填塞、氣相沉積過程。

對華芯科技而言,技術難點就是材料的物理氣相沉積pdv技術,以及堆疊薄膜鍍層保護和蝕刻技術。

相比沉浸式光刻技術以及雙工台技術的難度而言,fi技術猶如小學生的作業題,在現有的技術條件下就可以完成。

加上自對準雙重成像技術sadp,一旦得到攻克,王岸然有信心在不調整硬件的基礎上,實現800納米製造工藝的突破,並將芯片的集成度達到320納米製造工藝的程度。

研究課題的確認,需要理論方麵的支持,基於fi工藝的bsim數學模型有現實的指導意義。

9102年,如果說一個芯片底層硬件邏輯電路工程師,對bsim不了解,那他肯定是混日子的。

bsim邏輯電路設計模型在基於fi工藝中的作用不可替代,王岸然自然不陌生,甚至他可以清晰的記得數學模型中每一個參數的設置。

不過就這樣堂而皇之的拿出來,多有不方便之處。

為此王岸然專門成立了fi專用研究實驗室,召集了包括季小青、胡效、劉赫在內的一大幫華芯科技的基乾力量。

“大家很清楚,我們的製造工藝,比起國際上主流的製造工藝落後了兩到三代,比起國外最新的尖端研究,那不知道落後多少代了。

今天我召集大家來到這裡,就是要開展一項fi工藝的開發,我可以很自豪的告訴大家,在這方麵,我們走到了全世界的前列。”

王岸然的話成功了煽動了大家的熱情,對於大多人人來說,對fin並不陌生,關於場鰭效應的論文在國際上並不新鮮。

可以在這項新的理論模型下,進行實際應用的研究,也是一件令人振奮的事。

就在王岸然正在埋頭進行fi工藝模型架構的創建之時,一則消息打破了他的平靜。

“王總,德州儀器ceo安德森已經抵達了燕京,他希望就合作事宜,儘快與你進行會麵。”

合作!拿技術來合作啊,華芯科技肯定比你想象中的更有誠意。

王岸然點點頭,對張磊說道:“聯係技術部,雷總,明天上午九點開會,這次我們要好好討論一下,該要點什麼?”

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