() 在德州儀器折騰著消化華芯科技的技術成果之時,華芯科技的一項工作,讓王岸然深感憂慮。
那就是ibm一號芯片生產線的拆卸繪製,曆時近四個月,整個拆卸工作的完成進度尚不足50%。
一個拆卸繪製工作,進展都這麼困難,而且拆繪團隊目前隻是先把容易的先拆卸下來,對零件進行編號,繪製圖紙和材料說明。
而一些難的地方,甚至動都沒敢動,比如,鏡片組、氣動軸承。伺服補償係統等。
在王岸然一再保證,拆壞了不用你們賠,還是進展緩慢。
問題的關鍵是,這些核心的組建,大部分功能區都是閉環密封,你就是想拆卸都找不到螺絲卡扣,唯一的辦法就是暴力拆卸。
可暴力拆卸之後,想還原基本上是不可能了,幾千萬的設備,誰也不敢開第一刀。
為此王岸然隻好放下手上的事,親自來坐鎮。
這次是伺服補償器的拆除,在光刻過程中伺服補償器起著至關重要的作用。
原因顯而易見,晶片要加工成芯片,需要經過多次光刻,物理材料沉澱,蝕刻,清洗等工序,沉澱、蝕刻、清洗等工序對對準精度並不敏感,但多道光刻就涉及到一個難度非常高的技術難題。
那就是對準。
掩膜版與晶片之間空間位置,在多次光刻過程中,允許偏差在1微米以內,超高這個偏差,光刻機的鏡頭將無法完成對準校正。
而1微米有多長?如果你有一把快刀,能把頭發絲在直徑上分成五十分,差不多就是五十分之一的樣子。
要檢測這個長度很簡單,涉及一個光線杠杆的原理,不過想要調整位置,那就難了,而補償係統則是運用一係列算法、實驗數據等,對平台一次位移不到位施加的反向作用力,並做到精準定位。
毫無疑問,這是一項需要攻關的技術,而在王岸然計劃中的雙工台伺服補償係統,難度是這個的百倍。
還沒學會走,王岸然自然不會指望能跑,所以這第一步至關重要。
技術負責人左太行設計了一套拆除方案,核心就是請八級銼工,用手工銼刀將表麵金屬一層層的銼掉,然後打開內部結果。
王岸然同意了這個方案。
“王總,我真的安排秦師傅開始了啊!”
王岸然擺擺手,說道:“放心,我肯定的再重複一次,銼壞了不用你賠。”
左太行搖搖頭,苦笑道:“王總,就算你讓我賠,我也賠不起啊,這一套係統可是幾百萬美元呢,關鍵是想買也不一定買的到。”
王岸然過來就是為他們打氣的,這一行回來,王岸然的心情很是不好。
在芯片加工廠的辦公室,王岸然煩躁的點了一支香煙,抽了半支,又將煙頭掐滅在煙灰缸裡。
1.5微米製作工藝的芯片生產線,現在繪製都這麼艱難,那麼仿製成功要等到何年何月,最為關鍵的是,華芯科技遞交給官方,要求主導光刻機的研發工作的項目建議書,已經好幾個月了,都沒有得到回複,這讓王岸然心底頗有些怨言。