段雲這次來日本,雖然所有的住宿餐飲全部由日方負責接待,但是段雲還是提前兌換出了30萬美元,以備不時之需。
當天晚上,段雲一直思考到很晚才睡著,那些帶著幾分不安和焦慮。
而在另一側房間的李芸,也同樣到很晚才睡著的,和段雲分開後,她一直都坐在房間靠窗的沙發上,看著窗外璀璨奪目的東京夜景,內心則是滿滿的興奮和激動……
……
第2天一早,東芝派車把段雲接到了位於東京市郊的芯片工廠,而這是接待他們的,則正是上次來華考察的田中信一。
看到段雲之後,田中也表現的非常熱情,領他到東芝的芯片工廠進行了參觀。
一直以來,日本的芯片產業由6家巨型電子公司做掌控,其中包括:日本電器,富士通,日立,東芝,三菱電機,和衝電器組成,他們直接從政府得到資助,用於提高日本高科技行業的技術。
這些公司不僅生產芯片還生產電子設備,不過在80年代的時候,這些公司的年營業額收入中隻有7%來自芯片的銷售,而在這幾家企業中,東芝公司的占比稍高一些,能達到13%左右。
在田中信一的帶領下,段雲和李芸進入了生產車間後,立刻就被工作人員安排換上了防塵服。
段雲的天音電子廠也有無塵車間,但是和東芝公司的無塵車間相比,相差了不止一個等級,這個車間的密封度非常高,工人進入車間的時候不僅要穿上全套的防塵服,而且還要進行全身的清洗和消毒。
而進入生產車間內過後,裡麵的情況也讓段雲和李芸到了震撼。
所有的工人都在有條不紊的工作著,裡麵的機器看起來非常的先進和精密,偌大的車間隻有100多名工人,但根據田中信一的介紹,這個車間年產芯片能達到驚人的500萬枚。
芯片生產是個非常精密複雜的過程,車間裡的每樣設備動輒幾百萬,甚至上千萬美元,投入是相當巨大的。
另外生產芯片的機器主要有光刻機,等離子刻蝕刻機,離子注入機,單晶爐,晶圓劃片機,晶片減薄機,氧化爐,低壓化學氣沉澱積係統,磁控濺射台,化學機械研磨機,引線鍵合機,以及探針測試台等等。
這些設備都是當前國際芯片產業最先進的設備,而最為後世人所熟知的芯片生產設備,就當屬光刻機了。
光刻機也叫做激光雕刻機,是一種專門用來製造微小電子元件的設備,至於這個“微小”要微小到什麼程度呢?就拿當今世界上最流行的芯片工藝來說,7nm工藝大概要求大概是人類頭發絲的萬分之一,可以想象這其中的技術有多難了。
我國實際上也進行過光刻機的研發,並且這件事要追溯到半個世紀以前的60年代。當時,我國的專家們就已經研發出了65型接觸式光刻機,而當時荷蘭A**L公司還要過5年才成立,說來也是諷刺,既然我國當時領先了荷蘭A**L五年,後來卻一落千尺,遠遠落後世界水平。
原來在80年代,我國光刻機技術出現了一次“滑鐵盧”,不知道是科研資金不夠還是“飄了”,我國科研人員甚至一度放棄了光刻機的研究,並且倡導從國外進口。可能當時的人沒能考慮到進口的弊端,於是自研光刻機的事就一直被擱置了起來,就連前麵20年的研究成果,也都付諸東流了。
也許是中國半導體行業的不景氣,就連最後堅守在光刻機行業的武漢三廠最終也選擇了轉行,並賣起了零食,後來,直到台灣台積電公司開發出了193nm光刻機,國人才終於頓悟,原來直至今日,我國光刻機還是依靠進口。
通過田中信一的詢問,目前東芝電子廠已經可以生產4~5英寸圓晶,0.9微米級彆的芯片。
聽到田中的介紹,段雲內心有些暗暗吃驚。
其實早在來日本之前,段雲對國內目前的芯片產業技術情況已經有了比較全麵的了解。
1986年,電子工業部在廈門召開集成電路發展戰略研討會,提出“七五”(1986—1990年)期間我國集成電路技術的“531”發展戰略,即普及推廣以742廠為基點的5微米技術,同時開發3微米技術,攻關1微米技術。
但實際上,一直到1993年的時候,國內才開發出 5英寸,三微米技術,而這比起日本,已經整整相差了15年以上。
“這套設備我要了。”段雲走到一台光刻機前,對田中信一說道。