第64章 星曉[11]ASML EUV發布!……(1 / 2)

黑科技進修手冊 木兮娘 12314 字 8個月前

藍河科技最基礎的部署戰略已走出第一步,一條攻破高階國產光刻機技術的科技鏈已有了雛形,接下來的技術攻破才是重中之重的難點。

盛明安和沈問冰談完具體的細節以及一些arf光刻膠技術難點的看法後,離開甬城,回到津市,而沈問冰就arf光刻膠及配套材料研發項目收集資料,準備申請立項,估計通過幾率很高。

高端光刻膠及配套材料的研發和產業化本來就在國家02專項項目裡,按前世軌跡,arf光刻膠(193nm光刻膠)將在三年後由南大光電申請通過立項,獲得國家科研基金資助,於立項後的兩年內完成驗收。

現在盛明安介入,也隻是提前讓arf光刻膠被研發出來,研發團隊和專項所屬權仍然屬於原主。

盛明安完成初步戰略部署後,馬不停蹄趕回藍河科技研發部準備光源係統的研發,幾乎沒有停下來喘口氣的機會。

不隻是他,整個藍河科技所有人都像陀螺似的忙得暈頭轉向。

係統好奇盛明安為什麼不自己獨立攻破光刻機所有核心技術?

他有前世的記憶,他熟知光刻機幾十上百項核心技術,足以輕而易舉的攻破,而不必像現在這樣全國四處尋找科研團隊,費儘口舌說服他們跟藍河科技合作。

如果盛明安一個人研發出光刻機,所有專利都將屬於他。

專利帶來的財富和名譽源源不斷,國內任何一家科技公司想為他生產製造光刻機的材料譬如晶圓、光刻膠或者雙工作台,都得花錢從他手中買下生產這些材料的專利費用,更彆提之後完成的高階光刻機。

甚至他能夠直接畢業,學校為他開綠燈,說不定還會給他一個國家院士和名譽教授。

這真不是開玩笑的!

光刻機的地位就是如此重要!

而且隻要盛明安攻破這些技術難題,再交由藍河科技研發部完善,他們也不用跟著他這麼大費周章的為革芯的未來鋪路。

係統很好奇,於是這麼問出口。

盛明安正在設計複雜的光源係統,聞言愣了下,回頭看了眼身後忙碌的團隊。

右手邊的助手是個戴眼鏡的年輕姑娘,注意到盛明安的目光便輕聲問:“老板,您想來杯黑咖啡嗎?”

姑娘剛走出學校的實驗室沒多久,還習慣喊團隊領導‘老板’。

盛明安:“倒點濃茶就行。”

姑娘起身,拿起他桌邊的杯子就去倒茶水了。

係統:【宿主,是我問你。】

盛明安揉著太陽穴,感覺草稿本的字有點花,不知道是太疲憊還是有近視的風險,他前世長期伏案寫算因此輕度近視。

‘嗯。’

係統催促:【宿主?】

盛明安思索片刻,在姑娘倒了濃茶過來時輕聲回謝謝,便在腦海裡回答係統:‘不是我的東西。’

就是很簡單的理由,那不是他的東西,就算前世學過的那些攻破技術難點的知識現在屬於他,可是被創造出來的技術不屬於他。

而光刻機固然重要,卻不到火燒眉頭的地步,不需要搶奪原該屬於他人的運道。

他說:‘為什麼問我這個問題?’

係統:【因為我不理解。】

盛明安:‘你不該比我更了解嗎?’

係統:【?】

盛明安:‘你沒有發現?黑科技程序給出的每一道關卡,看似是未來的黑科技,實則基礎建立在過去物理偉人的理論和發現,隻不過程序將它們歸納起來激發了我的靈感。’

連續破解兩道關卡後,盛明安才看透黑科技程序的套路,無論是關卡還是所謂獎勵要麼隻是告訴他一道答案本來就是必然的結果,要麼給了似是而非的所謂提醒,他再根據這些已有的提醒和前人的結論不斷深思、追尋和解鎖,才得出屬於他的成果。

盛明安不知道前世沒有他,除了光刻機之外,量子糾錯的算法、拍瓦級激光係統方案究竟會是誰解決。

他有些好奇,於是問出來。

係統:【……不知道。】

盛明安:‘?’

係統:【記錄被銷毀了。】

盛明安:‘記錄沒銷毀前,你也不知道?’

係統:【不記得。】

係統也發現問題,它啟動自檢程序,從外到內全麵搜索。

盛明安喝了杯濃茶,眼中若有所思。

***

藍河科技的每個人都很忙,研發部更是忙得腳不沾地,作為研發部副部長的計海因為被策反而當了商業間-諜,人生頭一次這麼積極來上班,卻也是每天都在辦公室裡喝茶看報。

偶然一天發現研發部突然忙碌起來,計海警覺,以為有了新動作,趕緊喊杜頌進來問話:“研發部是不是有了什麼新突破?姓陳的小子和他那個小白臉情夫最近忙什麼?”

上次塞給杜頌一張存有十萬的銀行-卡,杜頌沒還回來,計海默認他是自己人,這會問話毫無顧忌。

杜頌想起陳驚璆的叮囑,如果計海問話就透露點消息,讓他帶給鄭河。

“研發部在盛神帶領下準備攻破光源係統的核心技術問題,項目已經開啟了。”杜頌如實說:“林工忙著帶領團隊設計芯片,至於陳總,好像在洽談合作、投資之類的。”

計海有點懵,這說了跟沒說有區彆?

“進度呢?”

“什麼進度?”

“核心技術?合作投資的項目?!”

“那我哪知道!”

“你——!”

計海覺得自己不該找杜頌這個蠢貨,他忍下怒氣小聲勸說:“我跟鴻芯那邊說了,人家表示很歡迎技術人才。你要是想通了,帶點研發部那邊的資料去見鄭總。”

杜頌含糊:“我再想想。”

計海心裡想彆的,沒多勸,擺手讓他出去,回頭翹班去找鄭河將杜頌提供的情-報交過去,換來鄭河的冷笑。

“藍河科技一直雙擔ic設計和光刻機的光源係統製造,業界內都知道的消息!林成建的身份,我早查清了!陳驚璆四處拉投資、找合作,到處碰壁,你以為我不知道?!”鄭河有些憤怒:“你耍我?!”

計海擦著額頭冒出的冷汗,慌亂否認:“不不不是……”

鄭河重重冷哼,審度計海的目光如刀片般,似乎對計海的才能產生了懷疑:“那些科研成果真是你的?”

計海連連點頭:“當然都是我的!鄭總,您說我一個搞科研的,怎麼做得來內-應這種事?”

如果不是科研人員大多非長袖善舞,鄭河早踹開計海了。

“雖然你搜來的消息都沒用,不過這也說明藍河科技最近確實處境艱難。”鄭河臉色緩和了些,冷笑著說:“藍河科技拉不到投資,革芯項目沒人看好,陳驚璆居然不想辦法解決迫在眉睫的資金問題,而是跑去各個研究團隊找他們合作攻破光刻機技術!”

“哈哈哈哈……”鄭河搖頭,上下搖晃著食指嘲諷:“蠢!天真!果然還是太年輕!技術是核心沒錯,但這麼做就是緣木求魚!”

攻破核心技術哪有那麼容易?

那些科研團隊從立項到拿到資金再到解決關鍵技術問題並實現產業化,可都不是一朝一夕的事!

陳驚璆以為就他聰明、就他們想到這個聯合技術鏈的辦法?

單說那個光刻機雙工作台的核心技術,11年獲得國家02專項立項至今,思念過去了還沒出結果。

技術攻破首要是資金,沒有資金學人開什麼公司?做什麼技術開發?

憑那麼點天真熱血的衝動想法而忽略了腳下不牢靠的基石,太蠢了。

鄭河如是冷漠傲慢的想著,打發走計海,將消息簡單彙報給陳天鶴。

陳天鶴正從私人專機上下來,落到美國的土地上。

“陳驚璆的事以後不用跟我說。”陳天鶴冷漠的說。

他抬頭觀看這座燈火通明的城市——

加利福尼亞州聖迭戈市,高通總部。

陳天鶴此行的目的。

***

光源係統是光刻機製造的核心,是晶圓光刻工程的起始步,與光刻工程後續每一步息息相關。

光源係統主要三大單元是光的產生、收集和均一化,初代光刻機的光源係統還包括光的純化,但第四代、第五代的激光器產生的光源已經達到要求,隻需要讓光均勻化就行。

光是雕刻的工具,由激光器產生,涉及三項技術指標即光刻分辨率、套刻精度和產能。

光刻分辨率有一道計算公式,照公式調整影響因數從而提高光刻分辨率,這方麵難度不大,但是受掩膜設計、抗蝕劑工藝等牽製,必須同時達到最佳化才能實現理想的光刻分辨率。

套刻精度與光刻分辨率相關,直接受其影響。

至於產能,則與光源係統的穩定相關。

以上是對激光器的要求,相對整個光源係統的技術要求不算高,係統工程程序中最難的步驟是光的收集。

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