收集難度大，轉化效率也低。
雷客坐在電腦前，操縱鼠標在軟件裡做精密的計算：“所需的極紫外光必須在真空下進行反射，不能被折射，因為它非常容易被吸收。真空腔內的反射鏡需要特殊鍍膜，把這束光，從光源一路引導到晶圓……經過十幾次反射，最終剩下的光線不到2%！”
圍觀過來的研發部成員倒吸一口涼氣，雖早知光源轉化率低，但聽到這數字還是低得讓他們心疼。
光源轉化率低就意味著能量的巨大消耗，最直觀的例子，一台euv機器輸出功率兩百瓦左右，工作一天，耗電三萬度。
光線利用率不到2%已經是優化其他性能所能夠得到的最佳數據，決定該性能優化的決定性關鍵就是反射鏡的精度。
“精度必須以皮秒來計算。”
換句話說，光刻機所需的反射鏡精度必須打磨到萬億分之一米。
盛明安：“用矽和鉬反複鍍膜，直到光線利用率達到國際標準。”
當下有人反駁：“都是納米級鍍膜，反複鍍膜也會影響精度，工藝太難了！”
難度多大？
最淺顯易懂的比喻便是將一麵直徑不超過四十厘米的反射鏡放大至覆蓋地麵，其平麵起伏不能超過一根頭發的直徑。
而光刻機所需的反射鏡多達四五十層，平麵精度一層比一層要求更平整。
全球隻有德國蔡司這家傳承三代以上的企業才造得出這種反射鏡。
當然，反射鏡不對華出口。
盛明安：“不用擔憂反射鏡能不能被打磨出來，你們隻需要儘己所能考慮反射鏡在光的收集和轉化率這一單元裡，能夠被如何利用到極致。”
“數據、模型，不管失敗成功，統統記錄下來。”
盛明安語速打機關-槍似的，斬釘截鐵、不容置喙，仿佛難度高到爆表的光源係統在他眼裡層次分明、井然有序，所有的技術難點都可以被輕鬆解決。
他胸有成竹，心有溝壑。
他不必開口安慰，隻要用平淡輕鬆的口氣下達每一道指令就能安定實驗室每個人退怯、不自信的心。
“杜頌，打開你的modelica先進行初步的超精密激光器建模仿真。”
modelica是一款可實現複雜的物理係統仿真建模的計算機語言軟件，可用於光刻機某些超精密部件的仿真建模。
杜頌：“已在創建。”
他領著自己小組成員低頭忙碌。
“雷客，你調整一下光路結構。”
“好。”雷客示意助手打開opc（光學鄰近矯正）軟件，通過模型動態仿真結果計算查找表修正光與圖案。
盛明安匍匐在桌案，設計市場需求的激光光源，就目前的技術發展而言，光刻機激光光源仍以激光等離子體為主。
驅動光源產生的碎屑數量，光譜純度，每提高一個技術節點消耗的功率和產能……其實日前最先進的euv，其功率消耗大、產能低，再過五六年也未能完美解決這兩個問題。
可盛明安不清楚。
他雖不願用前世記憶盜竊他人成果提前製造出國產光刻機，可前世是他完美解決euv產能低的問題，因此習慣性順手將這難題歸入待解決列表之一。
以至於後來一舉攻破該技術節點實現反超asml目標，實屬意料之外。
***
15年5月份左右，國際半導體發生了一件大事。
asml官網對外發布突破光刻機量產瓶頸，正式對外售出可量產14nm極紫外光刻機！
此舉瞬間激起千層浪，全球各界媒體報道不休，半導體發燒友熱鬨得跟過年一樣紛紛發表討論。國內貼吧、技術論壇和逼乎新帖不斷，基本都是討論asml這一舉措將帶來怎麼的影響。
【光刻巨人：asml真正的崛起！】
國內科技網對asml的新聞標題被搬到國內電子發燒友論壇，論壇主搬來這標題就已經表明了他對未來全球半導體地位的劃分認可。
【如標題所說，從今以後，asml是唯一的光刻巨人！】
【佳能、尼康的時代消失了，光刻機百花齊放共競爭的時代一去不複返，將來隻有asml一騎絕塵的身影！】
【雖然不想承認，但歐美又在一個重要的領域裡實現了科技霸權！】
【諸位，配合英特爾、高通今年年初發布的將於15年實現14nm核心處理器、年末實現10nm核心處理器的新聞發布會食用，而國產光刻機還停留在365nm光波長的第三代光刻機技術節點！】
【拉開了兩代，落後二十年。】
【華國被死死扼住半導體產業的喉嚨……】
【感到窒息。】
另一個貼沒有這麼喪氣，但基本是在吹asml，回顧asml的曆程，曾經也不過是個半生不死的小公司……
【誰還能記得曾經的asml瀕臨倒閉？】
【那時候的尼康和佳能才是霸權半導體領域的大佬，可惜封殺了台積電林大佬的浸潤技術emmmm結果最後被asml撿漏。】
【asml的崛起之路從這一步開始[滑稽]。】
【命運真是奇妙，誰能料到最後會是名不見經傳的阿斯麥爾搶先一步研發出第五代光刻機？】
【小聲插一句，我國有機會研發14nm光刻機嗎？】
【？？asml肯賣給我們一台euv就偷笑了，還自主研發？做夢呢！】
【肯定告訴你：有！二十年後！】
【不過那個時候的半導體可能已經發生翻天覆地的變化，摩爾定律失效，現有的光刻機技術臻至極限不再寸進，或許出現了新的機器替代光刻機，量子定律取代摩爾定律……我們再次被甩開二十年。】
【也不必這麼悲觀，或許二十年後，華國光刻機技術實現超英趕美。】
【摩爾定律沒那麼輕易被取代，你以為重新誕生一個定律很容易？】
【盛神不是解決了量子糾錯的難題嗎？很多人深受鼓舞，投入量子課題研究。隻要某個領域天才成群結隊而來，天大的難題被解決也隻是時間的問題。】
……
【怎麼跑題了？】
【說回正題，祈禱美帝不會一個看我們不爽就對我們實行芯片製裁吧。】
【什麼意思？】
【asml控股大頭是美帝公司！】
藍河科技。
林成建步伐匆匆進入研發部的休息室，室內盛明安和陳驚璆都在，還有雷客、杜頌等人，他們一邊吃中午飯一邊繼續商討研究項目。
“看到最新消息沒有？”
盛明安：“asmleuv發布會。”
“對！”林成建坐下來擦汗，接過雷客倒來的水說：“現在全球訂單飛向asml，一台售價1.2億美金，訂單排到了18年。”
光刻機工藝複雜，就算是asml一年也隻能造出十幾台。
“華芯的人也去下訂單。”
杜頌急問：“怎麼樣？”
盛明安不用問也知道結果，陳驚璆則安靜的挑出碗裡的辣子雞塊規整放到一旁的飯盒蓋上，然後推給盛明安。
陳驚璆：“我不吃辣。”
盛明安抬眼，掃了眼他那碗幾乎沒動過的辣子雞，相信了。
辣子味道又香又麻不嗆喉嚨，雞肉嫩滑多汁，吸收了辣子的香味，吃起來很刺激舌尖。
盛明安很喜歡，他說：“謝謝。”
陳驚璆笑看著他。
對麵一姑娘來回看兩人，心想盛神跟老板太基了吧。
林成建：“被拒絕了。”
杜頌：“艸！”
其他人心情激憤卻也無可奈何，誰讓他們的技術就是落後人家十幾二十年？
落後活該挨打唄。
歐美各國遵守的《瓦森納協議》就是專門針對禁止對華輸入高階精密科學儀器和技術，asml不敢違背協議，自然拒絕對華銷售euv。
沒有euv，他們還得從台積電，從英特爾、高通等美帝企業那兒購買芯片，巴巴送錢過去看人臉色。
休息室眾人情緒低沉，盛明安察覺不到，自顧自吃飯，吃完了就拿起手邊的熱水慢吞吞喝兩口解膩，渾身通透的舒服。
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