“你小子,跟老師說話還這麼不著調,小心我期末掛你的科。”周萬達是一個好奇心很重的人,現在他詢問的問題,沒有得到答案,讓他百爪撓心一般的難受,忍不住出言威脅了一句。周萬達本就是北大集成電路專業的教授,這一學期負責教授喬瑞達他們班的一門專業課。喬瑞達又經常曠課,點名經常不在,如果專業老師以此為理由,讓他掛科,誰也挑不出毛病。
聽到來自周萬達的威脅,喬瑞達立馬服軟,“彆呀,周老師,周教授,你如此寬洪大量的人,怎麼能跟我一般見識,讓我掛科呢。周老師,你不就是想知道後麵那輛車上拉的是什麼嗎,我這就告訴你,那輛車上拉的是一台EUV光刻機。由於設備太過精密,震動,或者溫濕度劇烈變化,都有可能影響它的加工精度,這才在車輛上加裝了防震措施,又在集裝箱上裝了空調,以保障內部環境恒溫恒濕度。”
“什麼,我沒聽錯吧,你竟然搞來了一台EUV光刻機!這怎麼可能呢,連國際光刻機巨頭阿斯麥都隻有測試樣機,沒有量產上市的東西,你小子又是怎麼搞來的?”喬瑞達說出來的信息太過於震撼,引的坐在後座的周萬達驚呼不已,當教授,做科研培養出來的沉穩氣質,蕩然無存。
“嘿嘿嘿,對不住了周老師,這個EUV光刻機的來源就真的不能對外說,否則將供貨渠道暴露出來,下次就再也拿不到貨了。你也是搞芯片的,應該清楚,這些高端光刻機,對咱們華夏大陸都是禁運的。”其實這台EUV光刻機是喬瑞達通過金手指複製出來的,來源本就見不得光,這會兒被周萬達問起來,隻能編出一個神秘的供貨商來,應付一二了。
“原來是這樣,要說你小子也真是厲害,還在測試階段的新設備,都能搞出來。渠道的事兒,我就不問了,你看能不能通過你的關係,給北大芯片實驗室也搞一台EUV光刻機,要多少錢你隨便開。”周萬達搓搓手,一臉期待的看向正在開車的喬瑞達。
作為一名芯片製程工藝研究員,周萬達太清楚EUV光刻機的威力了。當前市麵上主流的浸潤式DUV光刻機,常規加工精度是28nm。即使使用套刻、多次曝光等工藝,DUV光刻機的加工精度最多提升到7nm,而且會存在步驟繁瑣、加工難度大、良品率低等諸多的缺點。如果有了EUV光刻機,那就完全不同了,EUV由於采用了極紫外光對矽晶圓進行加工,可以把加工精度做到很小,起步就是7nm,具有加工速度快、良品率高、等優點,生產出來的芯片,性能強大,發熱低。後續采用一些其他工藝,還能加工出5nm、3nm,甚至2nm的芯片,絕對是未來芯片加工的發展方向。
“咦,周老師,你又沒見到EUV光刻機的實物,也沒進行過任何測試,為何會如此看好這台光刻機,不惜重金也要買一台?”這個型號的EUV光刻機的性能,喬瑞達在次元空間內做過測試,這才知道它的厲害。周萬達又沒做過測試,甚至連這台EUV光刻機的樣子都沒見過,就如此果斷的要花錢求購,當真奇怪。