“穩態微聚束光源確實能用於光刻，不過我們如今隻是實驗驗證了這一概念，距離具體的應用階段恐怕還需要大量的實驗研究。”
教授辦公室內，趙翔聽完徐源的話，雖心中非常意動卻也不得不擺出事實。
作為自己提出並成功驗證的概念，他當然希望能為國家解決眼下困境。
畢竟目前國內半導體行業是個什麼情況，隻要接觸網絡都會知道。
確實急需解決高端芯片製造問題。
海外阿麥斯公司，使用的方法是用高能電子束轟擊特定成分的氣體，從而對晶圓片進行蝕刻，但國內現在的技術還做不出這種東西。但借助穩態微聚束，可以直接把電子束從零速度開始加速。
直到加速到很高很高。
那麼所有速率的電子束全都有了，要用哪個速率的就放到特定的位置就行。
原本同步輻射在加速器領域，是個相對來說比較討厭的事情。
因為會白白消耗加速器的能量，拖累粒子的進一步加速。
但若用於光刻的話，則剛好能利用這個效應來製造特定波長的光。
可以說能稱得上腦洞大開。
如果這座光刻工廠真能建成，那麼其效率將遠不是普通光刻機能比的。
絲毫不誇張的講，可以同時製造不同規格的芯片。
就好比有人要六十度的水，但精準燒不出來，那就放一條很長的管道。
讓一百度的水流過管道逐漸冷卻，要多少度的水在相應的位置直接接就行。
不過理念歸理念，如何讓這些設想變成現實，還需要深入的研究。
以及大量實驗。
徐源如何不知道趙翔的憂慮，畢竟現在對穩態微聚束的研究確實不成熟。
若是晚上幾年再啟動光刻工廠項目，或許能更有底氣自信些，不至於像現在這樣，顯得有些畏手畏腳。
奈何有時候計劃趕不上變化。
形勢不等人。
眼下國內對5G領域的研究，因高端芯片問題，前進的路基本半廢。
既然決定了要自行解決高端芯片製造技術，那速度上就必須儘可能的快。
否則對5G的發展就會落後國際。
哪怕到時候再奮起直追，也會麵對各樣的問題。
正所謂落後就要挨打，關於這點可以說深有體會。
所以肯定不能把解決當下困境的希望，全部放在國產極紫外光刻機上。
明知道有新的方向道路，不管最終能否成功，也要儘全力嘗試。
念頭停留在這裡，徐源整個人反倒放鬆很多。
半點沒有和趙翔客氣。
拉來椅子坐到辦公桌對麵，自己倒了杯水，然後才看向趙翔繼續往下說。
“傳統的極紫外光刻機技術，很多專利都已經被阿麥斯公司掌握，我們想要研究出國產極紫外光刻機，確實是非常大的挑戰。”
“但誰規定製造高端芯片，就必須要用極紫外光刻機才行。”
“使用穩態微聚束光源建造光刻工廠，更符合我們的半導體市場情況。”
“而一旦這條路走通，那麼芯片製造在很大程度上就變成了一個基建項目，這才是我們我們最熟悉且擅長的專屬賽道。”
趙翔認真聽完徐源說的這些話，內心無比激動之下顯得臉色都有些紅潤。
作為科研人員，這兩天他一直在關注網上的事。
剛看到海外對國內5G領域的限製後，下意識便想到了自己的穩態微聚束。
隻不過此念頭剛在腦海中浮現，很快便又被他主動拋之腦後。
因為在他看來，穩態微聚束還需要更多實驗，尚不到具體應用光刻製造芯片的程度。
畢竟國內並沒有適合的實驗條件。
要知道就連之前驗證，也是借用了柏林那邊的儲存環進行實驗。
如今位於燕京的最新代高能輻射同步光源，正在如火如荼的建造中，但在正式交付使用之前，穩態微聚束也沒法進一步研究實驗。
所以他並沒有向科學院，提出建造光刻工廠方案。
結果沒想到徐源竟主動提了出來，並且還初步通過了科學院的認可。
眼下海外集體不看好國產極紫外光刻機，都認為這個項目是不可能做到的事。
其中阿麥斯公司首席執行官卡傑迪，更是接受媒體采訪時，公開宣稱就算公開極紫外光刻機圖紙，也製造不出國產極紫外光刻機。
正所謂泥人還有三分火氣，更何況是他們這些科研人員。
看到新聞後心裡都憋著股氣。
想要為國內科研人員正名，讓海外看看，在半導體領域同樣能實現領先。
單從這個層麵來看，建造光刻工廠無疑是最合適。
完全可以想象，當阿麥斯還在為，自己公司的極紫外光刻機驕傲，國內卻已經建造出了光刻工廠，甚至能直接影響到他們的訂單，到時候整個海外的臉色該會有多精彩可想而知。
也正是由於這些念頭，此刻趙翔越發意動。
很快便又忍不住拋出了一個問題。
“你講的這些我都明白，說時候我比任何人都希望看到光刻工廠的建立。”
“不過穩態微聚束還缺乏實驗，並且就算真的要建造光刻工廠，那也要先把穩態微聚束光源解決。”
徐源哪能不知道趙翔的真實想法，將對方這句話悉數聽進耳中後，頓時嘴角微微上揚浮現一抹笑容。
下秒也沒有賣什麼關子，直接開口回答：
“直接對穩態微聚束光源的EUV光刻實驗，同樣能夠研究穩態微聚束的特性。”
“至於光刻工廠需要的同步光源，我的想法是，對現在正建造的高能同步輻射光源裝置進行改造，增加其能夠進行光刻的功能。”
燕京高能同步輻射光源裝置，是科學院之前確定並實施的重大項目。
屬於國家的基礎科學建設。
當初正是因為趙翔團隊，借助柏林儲存環成功驗證穩態微聚束概念，成功證明穩態微聚束的價值，加上楊老對建造高能同步輻射光源非常支持，所以項目才會進行的這麼順利。
但由於當初並沒有往光刻工廠考慮，畢竟此概念還處於實驗初期。
因此所建造的高能同步輻射光源裝置，主要用於相關的科學實驗。
不過如果現在進行適當改造的話，使之增加能用於EUV光刻的功能，可以讓其變成基礎科學實驗，和光刻工廠並存的重要科學設施。
他這樣想也是考慮到當下時間緊迫，確實沒有太多時間來建造同步輻射光源。
否則重新選擇合適地點建造的話，需要花費更長時間不說，經費問題也需要考慮，遠不如在高能同步輻射光源裝置基礎上改造。
這樣就算光刻工廠研究不成功，也照樣能繼續作為基礎科學設施使用。
不會給科學院造成多大損失。
能看出趙翔對這個想法也很支持，聞言立刻點頭附和了句。
“這確實是一個不錯的選擇。”
“並且改建起來也不會增添多少麻煩，說不定還能提前交付。”
說完整個人便又陷入到沉聲中，這次似乎是在心中權衡著自己決定。
最終。
趙翔終於像是下定了決心。
目光堅定的看向徐源，語氣斬釘截鐵的說：
“我同意你的方案。”
話音剛落。
下秒又變得緩和起來，不過臉上笑容卻絲毫沒有消失的跡象。
“說句實話也就是有徐院士你在，如果換做其他人來負責這個項目，我還真沒有什麼信心能搞出光刻廠。”
他這句話可一點沒有說錯。
當初在楊老的介紹下，他有幸能和徐源，共同研究驗證穩態微聚束。
要不是徐源幫了很多忙，穩態微聚束也沒這麼快進入到驗證階段。
相當於硬生生加快了穩態微聚束的研究。
儘管穩態微聚束還不算成熟，但和徐源合作，他還是想努力試試。
或許真有可能打造出國產首座光刻工廠，給全世界人們一個轟烈震撼。
如果換做其他人和他談這個事，那絕對不會選擇這樣說。
徐源對趙翔非常了解，知道對方肯定會同意，因此聽到這個答案後，臉上表情倒也沒有流露出驚訝之色。
立刻反應過來後，當即主動伸出手和對方握了下。
“我相信沒問題。”
向對方說這句話時，滿是胸有成竹。
因為就在這個時候，他赫然注意到眼前視野中浮現的光幕麵板，新項目的進度條已然發生增長。
——
任務：穩態微聚束光刻工廠
學科：物理
進度：20%
結果：未完成
很顯然出現的百分之二十進度條，正是先前他們對穩態微聚束的研究成果。
或許之後的進度條增長會變得比較緩慢，但他相信結果肯定不會讓所有人失望。
而既然成功邀請趙翔，加入穩態微聚束光刻工廠的重點項目中，那麼接下來首先要做的事，便是完成詳細的項目方案。
並在科學院會議上討論研究。
隻有通過正式立項後，才能著手開始實施。
並對高能同步輻射光源裝置改造。
徐源和趙翔本就負責穩態微聚束的研究，拿出相關方案自然不在話下。
於是接下來的半個月時間內，兩人便基本都在一起完善方案。
另外值得一提的是，期間兩人還特意去了科學館楊老的辦公室。
向其請教交流探討。
楊老雖然不建議國家建造粒子對撞機，但對於加速器光源非常支持。
之前也正是他給了趙翔很多幫助，所以才堅定了趙翔對穩態微聚束驗證的信心。
毫無疑問。
當楊老得知要通過進一步研究穩態微聚束，來另辟蹊徑建造光刻工廠，徹底解決國內高端芯片製造難的困境問題。
對此不但非常高興，還表示全力支持。