同樣深信不疑,相信國國內能在芯片製造上,走出屬於自己的道路。
成功建造出光刻工廠。
……
2017年1月20日。
周五。
距離除夕還剩一周時間。
今天上午,科學院充斥著嚴肅氛圍,連院裡的助理研究員都在臉上看不到笑容。
隻有格外認真的神情。
在上次科學院緊急會議召開後,才僅僅過去半個月的時間。
便再次召開會議。
且參與人數,要遠遠超過上回。
這可以說還是從未見過的特殊情況。
足以證明眼下形式多緊迫。
在這種時候,緊張嚴肅才是主旋律,任誰也不會依舊笑容滿麵渾身輕鬆。
“趙哥,放輕鬆點。”
“沒問題的。”
此刻科學院內的道路上,徐源拍了拍趙翔的肩膀兩人一起朝大廳趕去。
因為兩人比較熟絡,私下裡徐源都是以趙哥稱呼。
而今天他們參加這場會議,主要任務便是報告關於穩態微聚束光刻工廠方案,這決定著此後續項目能否順利的正常展開。
和上次緊急會議不同,這回提前進行了通知。
所以現場參加會議的人員數量,保守估計已經超過了上百人。
都是半導體相關領域內的院士資深教授。
趙翔雖也是正教授,但和徐源兩院院士的身份相比還要差不少。
另外麵對這麼多院士教授作報告,趙翔心裡麵難免會有些緊張。
“希望等下能順利吧。”
趙翔聽到徐源的寬慰,暫時頓住腳步,深吸一口氣說了這麼句,然後才又繼續邁動步伐。
既然確定要參加徐源的這個項目,儘最大努力爭取把光刻工廠給打造出來。
那他肯定是希望能夠成功。
若在報告現場,方案便直接被否定,無法通過。
心裡麵肯定會難以接受。
有種辜負了徐源的信任的感覺。
因此感到壓力大,倒也屬於正常情況。
徐源對大廳隻能說再熟悉不過,從首次在裡麵參加新當選院士頒證儀式,到後麵參加院裡的會議,今天又要到台上報告。
肯定是輕車熟路。
完全沒有什麼好擔心的。
不過他也對趙翔現在的心情表示理解,所以緊接著便又補充了句。
“放心吧,楊老也會參加上午的會議。”
是的。
礙於穩態微聚束光刻工廠的事,楊老也罕見的主動參加了今天的會議。
以他對穩態微聚束的信任和支持,方案肯定不會有什麼問題。
這點他很有自信。
就這樣沒過多久,兩人便順利到達了大廳。
推開門走到裡麵,能看到已經有不少人到場,其中徐源還看到不少熟悉的身影。
其中便包括光電技術研究所的羅亞傑院士。
他們光電技術研究所,也要進行國產極紫外光刻機的研發工作,按照相關規定流程,今天也是要上台進行方案規劃報告的。
簡單來說就是拿出接下來研究的方向,以及目前正處於什麼階段。
明確之後院裡起碼能知道進度,好在人員和經費設備等問題上進行支持。
對此徐源也沒有閒著,趁會議還沒有開始,便帶著趙翔朝羅亞傑等人走過去打起招呼。
也算順便讓趙翔放鬆下精神。
能夠清楚看到,相比較上回見到羅亞傑,今天對方的臉色明顯變得更加憔悴。顯然這最近的半個月,沒少為極紫外光刻機的事操心憂慮。
但這也是沒有辦法的事情,海外既然已經把招式給擺了出來,不積極去應對又怎麼能行。
身為科研人員的驕傲還是有的。
也就在兩人寒暄著的時候,隻見房門再次被人從外麵推開。
走進來的正是楊老,以及院長白新周,和另外幾位負責人員。
“楊老好。”
大廳內的其他人,看到楊老居然也來了,驚喜之下連忙站起身打招呼。
臉上紛紛堆著笑容。
畢竟先不說楊老的年齡是場內最大的,單是在科學界的成就便值得其他人敬重。
……
伴隨白新周和楊老入場,接著也沒繼續浪費時間。
立刻便宣布會議正式開始。
按照流程白新周簡單講了幾句話後,便直接進入項目方案報告流程。
對此楊老並沒有發表講話,很明顯是專門為了穩態微聚束光刻工廠來的。
最終由光電技術研究所的羅亞傑,率先上台進行相關的報告。
儘管羅亞傑給大家分享了一個好消息,說到他們研究所關於22納米超分辨光刻裝備,最近在技術上迎來了新的突破之後,頓時引起台下不少人熱烈鼓掌。
但同時大家也都知道,就算攻克了22納米光刻機製造技術,距離阿麥斯的7納米極紫外光刻機,仍有著非常大的差距。
關鍵這中間的差距,實在讓人看不到追趕甚至超越的希望。
之後另外兩個進行光刻機研究的研究所,也上台進行了研究報告。
至於結果則和光電技術研究所方麵差不多。
就算繼續研究下去,除非出現奇跡,否則幾年內想追趕上海外完全不可能。
時間一分一秒流逝。
院長白新周臉色也變得難看起來。
如果說剛對外宣布,要自主研發國產極紫外光刻機的時候,還非常意氣風發鬥誌昂揚,那麼此刻經過半個月的沉澱認知後,才真正感覺到那種巨大技術差距下麵臨的無力感。
不過很快白新周突然想到了什麼,趁著其他人下去頓時把目光鎖定了徐源。
下秒直接開門見山道:
“徐院士。”
“我記得你上次提到穩態微聚束,其光源能夠用於EUV光刻。”
“現在有具體方案了嗎?”
徐源聽到自己的名字,這時候自然不會賣關子,當即便開口回答起來。
“是的院長。”
“這段時間我和驗證了穩態微聚束的趙翔教授,順利完成了關於光刻工廠的相關構想,我向院裡申請儘快開始此項目。”
說完便和趙翔一起,兩人配合著對已經完成的方案進行講解。
在場所有人中,有人了解過穩態微聚束,有的人則是首次聽到。
看見能讓徐源這位兩院院士如此重視,甚至還要求項目儘快立項實施,整個人的好奇心不由得被成功鉤了出來。
紛紛集中注意力朝徐源望去。
而隨著穩態微聚束光刻工廠的設想圖,在大廳內屏幕上完全展示出來時,大家目光瞬間便被吸引住。
“傳統的極紫外光刻機技術,大多數專利都掌握在阿麥斯手中,我們想要在這種情況下研究出,幾乎是一件很難短期做到的事。”
“所以我在想有沒有另辟蹊徑的辦法,能實現對高端芯片的製造。”
“最終穩態微聚束出現在了我的腦海。”
“理論上通過穩態微聚束光源,我們可以直接就建造出一座光刻工廠,利用不同波長的光源,去生產不同規格的芯片。”
“並且我相信未來國內,會是最大的半導體市場。”
“光刻工廠也符合我們的國情。”
……
徐源把大家的表情都看在眼裡,不過並沒有這時候去解釋什麼。
而是按照自己的節奏,對光刻工廠方案進行報告。
後麵涉及到的相關理論技術等,則由趙翔配合順利完成。
待把整個方案報告完畢後,整個大廳陷入到了短暫的沉默之中,隨即反應過來台下頓時一陣騷亂。
大家都討論著這個方案。
“把芯片製造問題變成了我們最擅長的基建,這絕對是一個天才般的構想。”
“我們確實不用必須延續海外的道路,誰說生產芯片就必須要有光刻機,建造這樣的光刻工廠才適合我們。”
“這是一個全新的研究方向,應該一試。”
“如果光刻工廠真能實現的話,這對全球半導體行業都將是一場革命。”
“我現在都已經迫不及待,想要看到這座光刻工廠投入使用的樣子了,十萬個零件的極紫外光刻機我們有圖紙也製造不出來,但卻能建造比得上很多台光刻機的光刻工廠。”
“或許穩態微聚束光刻工廠,就是我們解決困境最大的轉機。”
……
板了半天臉的白新周,此刻總算有了些笑容,對徐源和趙翔提出的光刻工廠方案同樣很看好。
更何況以往隻要徐源負責的項目,就還沒有過失敗的情況。
不過他並沒有立刻進行舉手決定,而是先側過臉詢問身旁楊老的看法。
“楊老。”
“關於穩態微聚束光刻工廠您怎麼看?”
楊老本來就是為了這件事,終於到自己的環節,自然是有什麼說什麼。
“小徐和趙翔早就拿這個方案給我看了,雖然仍有些技術問題需要解決,但我認為還是非常可行的。”
……