光刻機需要工作在超高無塵環境下,剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間內安裝調試。劉焱換了一身白色防塵服,戴上防塵帽,通過風淋間進入無塵車間。
此時是上午十點左右,處於每天的早班時間,晶圓工廠的四條芯片生產線正在全力運作,數千名工人,正在生產線上,有條不紊的工作。走過生產區域,進入測試區域,以薑安平為首的幾十名研究人員,正圍在一台一人多高的設備,做最後的調試,旁邊還有幾名維創電子公司的高管站在那裡圍觀。
劉焱湊上前去,朝研發二部部長烏光輝問道:
“這台就是光刻機研發實驗室製作出的第一台光刻機嗎?什麼時候能開始光刻測試?”
聽到有人提問,陽威力、金小雅等人同時轉頭看過來,見是老板劉焱,紛紛打招呼問好,烏光輝出聲給劉焱解釋道:
“對,就是這台機器,昨天組裝完成之後,第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間,經過一天一夜的安裝調試,現在已經差不多可以開始了。”
劉焱滿意的點點頭,圍著光刻機轉了一圈,這台設備為全封閉結構,就像一個四四方方的鐵皮文件櫃,外殼噴塗成了乳白色,左右兩側,設置有矽晶圓入口和出口,靠外一側安裝著一個控製麵板和一台大屁股顯示器。
劉焱有些疑惑的問道:
“看外表,我們這台光刻機似乎和J能、N康的光刻機都不太一樣,這是對外殼進行了優化嗎?”
烏光輝搖搖頭之後說道:
“我們不光優化了外殼,同時也優化了部分內部結構。
老板你提供的資料裡不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎,薑教授他們研發一微米光刻機的時候,參考了0.5微米光刻機的內部結構,對設計圖進行了一些更改優化。
從理論上來說,這些優化對晶圓的加工速度和加工精度,應該都有所提升,實際情況如何,還需要測試過後才知道。”
薑安平等人又忙活了半個多小時,光刻機終於調試完成,將提前準備好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。陽威力通過對講機溝通,讓一位名為柏巧玲的女工,送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓。
薑安平親自動手,將矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上,然後按下操作麵板上的啟動按鈕。
光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音,一張矽晶圓被機械臂送進光刻機內部,在深色玻璃觀察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,開始對矽晶圓進行加工。
見狀,劉焱出聲詢問道: