“這台光刻機使用的是哪種光源，是高壓汞燈產生的436nmg-line和365nmi-line，還是248nm的KrF準分子激光作為光源？”
烏光輝回答道：
“現在使用的是高壓汞燈產生的365nmi-line作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米，作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。
準分子激光光源，是下一代光刻機光源技術，咱們研發部已經立項開始研發，但這種技術在世界範圍內，也是最前沿研發項目，開發難度非常高，不是短期內能攻克的。”
這台新研製的光刻機的加工速度還是很快的，即使是初次測試，柏巧玲拿來的幾十片矽晶圓也在二分鐘內，全部完成了光刻加工。
這些光滑如鏡的矽晶圓上，多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版，是晶圓工廠正在生產的ARM1芯片掩膜版，其複雜程度和尺寸大小，是晶圓工廠出產的所有芯片之最。
按照原本的計劃，第一次光刻測試，應該選用最為簡單的單片機芯片作為加工目標，這樣一來，就可以從易到難，逐步查漏補缺，將光刻機修改完善。但薑安平和幾個主要研發人員，對光刻機測試樣機非常有信心，直接上了最大難度，也是需求量最大的ARM1芯片。
維創電子公司推出的第二代遊戲掌機上市之後，立刻受到電玩愛好者的熱捧，僅僅上市半個多月，就售出了300萬台。隨機配送的和兩款遊戲，在畫麵、音效、遊戲可玩性上，碾壓市麵上的所有遊戲。遊戲掌機熱銷，作為主控芯片的ARM1需求量大增，可是產品合格率始終徘徊在60%~70%之間，提升速度非常緩慢。
經過蒙小剛、薑安平，幾個相關領域的專家研究分析，認為ARM1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達標造成的。晶圓工廠內的這幾條芯片生產線畢竟是使用了一二十年的設備，能正常生產芯片就不錯了，想要苛求加工參數完全達標，幾乎不可能。其中影響最大的，就是作為核心設備的光刻機。
薑安平親自動手，使用專用夾具，將光刻完的幾十片矽晶圓裝進專用容器，拿去芯片生產線那邊，去進行後續的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學機械研磨等步驟。
兩個多小時之後，所有工序走完，幾十片矽晶圓，變成了一千多枚封裝完成的ARM1芯片。劉焱、烏光輝、薑安平等高管和研發人員，開始動手對這批芯片進行全麵測試。
半小時後，所有芯片測試完成，薑安平對測試結果進行了彙總，最後宣布道：
“此次我們自主研發的一微米光刻機測試，共選用了35片矽晶圓，加工過後，切割封裝成1750枚芯片。
經過全麵測試，合格產品共1203枚，合格率為68.7%。
也就是說，咱們光刻機研發實驗室生產的第一台一微米光刻機，第一次開機測試生產，就成功了，並且合格率已經達到了晶圓工廠內現有幾台J能和N康光刻機的加工水平。”
聽完薑安平的發言，劉焱帶頭鼓掌，其他維創電子告訴的高管和研發人員，以及其他負責封裝測試的員工緊隨其後，現場爆發出一陣熱烈的掌聲。
在場觀摩的維創電子公司員工們都在七嘴八舌的討論著：