第一千三百六十九章 曆史時刻(1 / 2)

逆流1982 刀削麵加蛋 3430 字 2024-03-25

段雲同樣需要突破的還有光刻機技術,而這其中。

頂級的光源,高精度的鏡頭和精密儀器製作技術是EUV光刻機三大核心技術,阿斯麥的光源來自收購的子公司Cymer;鏡頭來自深度綁定的蔡司;精密儀器則自身擁有多年的經驗和專利積累。

其實從後世的芯片產業發展來看,國產光刻機在光源方麵,以及光刻機對準台方麵,都已經得到了重大突破,達到了國際先進水平,中國的極紫外光也是相當厲害的,所以光源和工作台並不是製約國產光刻機的最主要因素。

而真正製約國產光刻機發展的是光刻機的鏡頭鏡片,阿斯麥能夠成為光刻機領域的老大,其最核心的技術就是來自於蔡司的光學鏡片。

德國蔡司是一家老牌光學廠商,早在1890年就開始生產相機鏡頭,這家公司在行業的影響力不僅僅是賣相機鏡頭,蔡司還從事高端光刻機高精度鏡頭製造,荷蘭阿斯麥公司製造的光刻機基本上都是采用蔡司鏡頭。

早年的時候日本尼康佳能憑借很好的光學技術底子,也能生產出技術先進的光刻機,然而進入90年代之後,隨著芯片製程技術的不斷提高,尼康佳能都曾經嘗試去做更高的光刻機鏡頭,但結果都失敗了,隻能放棄,在這個地球上,高精度的放大鏡隻有德國蔡司鏡頭可以生產。

光刻機對鏡頭的要求有多高,從他的技術構造上就可以看出來。

位於光刻機中心的鏡頭,有20多塊鍋底大的鏡片串聯組成,鏡片必須是高純度透光材料加高質量拋光,而這種鏡麵材質要做到均勻,至少需要幾十年到上百年的技術積累。

同一個鏡片,不同工人去打磨,光潔度相差10倍。

德國蔡司公司裡拋光鏡片的工人,祖孫三代在同一家公司的同一職位。

如果把阿斯麥光刻機的光學鏡片表麵比作一個德國領土的話,那麼這上麵的建築物誤差不能高於兩厘米,由此可見,這種光學鏡片的精度達到了令人匪夷所思的程度。

現在蔡司是被阿斯麥公司控股,段雲想從蔡司公司獲得高精度光刻機鏡片是不可能的事情,他唯一能做的就是支持國產光學鏡片的研發工作。

段雲通過了解,得知這次入駐深圳科技園的國內光學企業共有三家,兩家來自於北京,一家來自於上海。

這些光學研究所最早都是研究眼睛鏡片的,無論從企業底蘊還是技術實力上來說,和蔡司,尼康,佳能等國際大廠差距非常大,有很多的技術瓶頸需要突破。

但好在80年代。光刻機的技術遠沒有後世2000年以後極紫外光刻機那麼複雜,段雲如果能夠長期對這些企業保持資金投入的話,是有機會追趕這些國際大廠的。

而一旦光刻機的光學鏡片得到突破,那麼國產光刻機製造就已經突破了最大的技術瓶頸了,先進光刻機國產化將變成一個現實。

隨著操作台一串燈光閃過,NAND閃學芯片正式進入試生產階段,在場的所有人都屏住了呼吸,段雲的臉色也顯得非常凝重。

兩年來,段雲一直在等待著這一天到來,如果NAND芯片試生產成功,對他和整個國家芯片產業而言,都是曆史性的一天,中國的芯片產業也將翻開新的篇章。

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