譯籲宋戰死後，西越馬上選出了新的領袖，桀駿。桀駿利用地形優勢，帶領西越軍隊發動了猛烈的反擊，秦軍大敗。膠著的戰況讓屠睢感到鬱悶、煩躁。焦急之下，屠睢開始無差彆攻擊，殘殺了當地的一些普通越人，但這非但沒有嚇到越人，反而點燃了他們的怒火。屠睢在一次運糧途中，經過一片樹林，西越軍早就埋伏在了四周。等屠睢一來，樹林中亂箭射出，屠睢的臉和身子都中了箭。要命的是，這些都是毒箭，屠睢就此身亡。
除了攻打東越、閩越獲勝，其他四路軍隊戰況不佳。第一次秦攻百越之戰，秦軍損傷慘重，陣亡三十多萬士兵，是打六國以來最慘烈的戰爭。沒了主將後，剩餘的二十萬秦軍退守至廣西東部邊界，和百越部落進入到對峙僵持階段。
公元前214年，靈渠建成。秦始皇增兵十萬至嶺南戰場，和原先的二十萬秦軍會和，由任囂為主將、趙佗為副將，發動進攻。多年下來百越部落的兵力已經不足一萬人，現在秦軍解決了補給問題，百越根本擋不住強大的秦軍。有了上次的教訓，秦軍每占領一塊地方就遷移部分人口過來，邊攻占邊治理，穩定後方，同時可以補充兵力。西越、雒越、南越沒過多久就被滅了，嶺南地區被納入到了秦朝的版圖之中。
這次南征百越雖然耗時耗人耗錢，但為秦朝帶來了100多萬平方公裡的遼闊土地，秦朝的疆域大幅拓展。秦始皇在嶺南地區設立了桂林、象郡、南海三郡，讓任囂和趙佗留下來治理，促進了嶺南地區的發展，為今後兩廣的建設奠定了基礎，隻是想不到趙佗後來竟然做起了土皇帝，這是後話了。