陽威力通過對講機溝通,讓一位名為柏巧玲的女工,送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓,廉安平教授親自動手,將矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上,然後按下操作麵板上的啟動按鈕。光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音,一張矽晶圓被機械臂送進光刻機內部,在深色玻璃觀察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,開始對矽晶圓進行加工。
見狀,劉焱出聲詢問道:
“這台光刻機使用的是哪種光源,是高壓汞燈產生的436nmg-line和365nmi-line,還是248nm的KrF(氟化氪)準分子激光作為光源?”
烏光輝回答道:
“現在使用的是高壓汞燈產生的365nmi-line作為光刻光源,理論上,這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米,作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。準分子激光光源,是下一代光刻機光源技術,咱們研發部已經立項開始研發,但這種技術在世界範圍內,也是最前沿研發項目,開發難度非常高,不是短期內能攻克的。”
這台光刻機的加工速度還是很快的,即使是初次測試,柏巧玲拿來的幾十片矽晶圓也在二分鐘內,全部完成了光刻加工。這些光滑如鏡的矽晶圓上,多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版,是晶圓工廠正在生產的ARM1芯片掩膜版,其複雜程度和尺寸大小,是晶圓工廠出產的所有芯片之最。
按照原本的計劃,第一次光刻測試,應該選用最為簡單的單片機芯片作為加工目標,這樣一來,就可以從易到難,逐步查漏補缺,將光刻機修改完善。但廉安平教授和幾個主要研發人員,對光刻機測試樣機非常有信心,直接上了最大難度,也是需求量最大的ARM1芯片。
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隨機配送的《C級瑪麗》和《G夫小子》兩款遊戲,在畫麵、音效、遊戲可玩性上,碾壓市麵上的所有遊戲。
遊戲掌機熱銷,作為主控芯片的ARM1需求量大增,可是產品合格率始終徘徊在60%~70%之間,提升速度非常緩慢。
經過蒙小剛、廉安平教授以及幾個相關領域的專家研究分析,認為ARM1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達標造成的。
晶圓工廠內的這幾條芯片生產線畢竟是使用了一二十年的設備,能正常生產芯片就不錯了,想要苛求加工參數完全達標,幾乎不可能。其中影響最大的,就是作為核心設備的光刻機。
廉安平教授親自動手,使用專用夾具,將光刻完的幾十片矽晶圓裝進專用容器,拿去芯片生產線那邊,去進行後續的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學機械研磨等步驟。
兩個多小時之後,所有工序走完,幾十片矽晶圓,變成了一千多枚封裝完成的ARM1芯片。
劉焱、烏光輝、廉安平教授等高管和研發人員,開始動手對這批芯片進行全麵測試。
半小時後,所有芯片測試完成,廉安平教授對測試結果進行了彙總,最後宣布道: