“此次一微米光刻機測試,共選用了35片矽晶圓,加工過後,切割封裝成1750枚芯片。
經全麵測試,合格產品共1203枚,合格率為68.7%。也就是說,咱們光刻機研發實驗室生產的第一台一微米光刻機,第一次開機測試生產,就成功了,且合格率已經達到了晶圓工廠內現有幾台佳能和尼康光刻機的加工水平。”
聽完廉安平教授的發言,劉焱帶頭鼓掌,其他維創電子公司高管和研發人員,以及其他負責封裝測試的員工也很快跟上,現場爆發出一陣熱烈的掌聲。
“沒想到,新設備第一次光刻測試就成功了,廉教授他們這些人真是牛。”
“那是當然,光刻機研發實驗室是咱們維創電子公司和Z科院半導體研究所、深鎮大學,共同合作建立的,裡麵工作的研究員,學曆最低的也是碩士研究生,能不厲害嗎。”
“芯片生產線最核心的設備光刻機研發成功了,其他相關設備的研發難度就低多了,也許咱們維創電子公司有一天,可以生產整條芯片生產線上的所有設備。”
“沒那麼容易,整條芯片生產線上的設備太多了,咱們維創電子不可能分心生產這麼多的東西。”
“第一次光刻測試,產品合格率就達到了68.7%,再做一些參數優化,將合格率提升到70%、80%,也不是不可能。”
接下來,劉焱和廉安平教授等人去食堂吃了一餐遲來的午飯,然後返回無塵車間,對光刻機進行進一步的測試,包括極限加工精度測試,最高光刻速度測試,長時間壓力測試等等。
此後半個月,又有兩台維創電子公司自產的一微米光刻機加入測試,隨著設備參數的不斷修改優化,一些零配件的小修小改,生產的芯片合格率已經提升到了81%。作為一家剛剛成立不到半年的晶圓工廠,這個合格率已經相當高了。
11月中旬,維創電子公司和Z科院、深鎮大學,合作研發的一微米光刻機正式定型量產。
為此,三家單位特意舉行了一個表彰大會,還叫來了幾名報刊雜誌和電視台的記者,對此進行報道。
在這次的表彰大會上,對光刻機研發小組全體成員進行了通報嘉獎,所有人都獲得了維創電子公司提供的一萬到十萬不等的獎金。
在GGKF之初的八零年,RMB可是非常的堅挺,萬元戶即使在特區深鎮也是鳳毛麟角的存在。
如今一大批搞光刻機研發的技術人員,輕輕鬆鬆成為萬元戶,甚至十萬元戶,造成的轟動效果可想而知。
消息見報不到一周,維創電子公司就接到了五台一微米光刻機訂單,都是內地的幾大電子研究所訂購的,用於國產芯片的研發製造。